實驗供氣系統(tǒng)使用安全注意事項

1.易1燃易1爆氣體：此類氣體只要形成了可燃氣體爆1炸混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆1炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室

內(nèi)使用可燃氣體處、敷設(shè)可燃氣體的管廊或技術(shù)夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應(yīng)設(shè)置可燃氣體報警裝置。具體要求如下：

①可燃氣體比空氣輕者，報警裝置設(shè)置在所處場所的頂部。

②可燃氣體比空氣重者，報警裝置設(shè)置在所處場所的1低處。

③可燃氣體的報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風裝置設(shè)電氣連鎖，當空氣中的可燃氣體濃度達到規(guī)定值時，事故排風裝置自動開啟，同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。

④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒爆1炸事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。

⑤可燃氣體在適當?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。

⑥各種可燃氣體管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應(yīng)的檢測口，以便在可燃氣體供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。

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電子特氣系統(tǒng)的維護

由于特氣系統(tǒng)是一種具有高風險的供應(yīng)系統(tǒng)，因此在生產(chǎn)線現(xiàn)場的維護需要專業(yè)、有經(jīng)驗的技術(shù)員完成。特氣系統(tǒng)的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。

（1）特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區(qū)別。全自動氣柜維護自動化程度較高，并且安全可靠。特種氣體使用安全首先,應(yīng)對特氣的危害性進行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計,消除安全隱患。在維護前關(guān)閉鋼瓶閥門，設(shè)置換瓶吹掃，程序自動進行抽氣，置換等動作，根據(jù)氣體性質(zhì)的不同，一般至少吹掃60次以上，負壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。

（2）管路的維護，由于不同的氣體性質(zhì)不一樣，對管路維護的方法也不相同，對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃（N2purge），一般至少反復(fù)30次，對于有吸附性的液態(tài)源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復(fù)的抽真空，抽完后關(guān)閉閥門，1小時后會出現(xiàn)壓力表回表的現(xiàn)象，會造成管道泄漏的誤導，遇到此情況打開真空器發(fā)生器繼續(xù)抽，直到?jīng)]有吸附氣體釋放為止。它們的投資規(guī)模巨大，采用最1先進的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出最嚴格的要求。

以上兩種系統(tǒng)維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負壓保壓為-12PSI，保壓時間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（PT）受溫度的影響，一般有2PSI的正負波動。

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特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。實驗室的氣體的排放是非常重要的，如果說實驗室氣體管道設(shè)計不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴重的就會有生命危險。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

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試驗室集中供氣系統(tǒng)的優(yōu)點

針對過去使用中存在的問題，現(xiàn)代試驗室對載氣的使用環(huán)境進行了改革，即 “集中供氣系統(tǒng)”，即將使用氣體（以下簡稱載氣）集中貯存，然后通過壓差的原理將氣體經(jīng)過金屬或其他材質(zhì)管路送至用氣點。其優(yōu)點主要有以下幾點：

1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間，如果與試驗室在同一大樓內(nèi)，則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間，這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離，即使有害氣體有泄漏，也不會發(fā)生直接傷害。特種氣體氣瓶存放區(qū)應(yīng)比較干燥，并有良好通風，嚴禁明火和其它熱源，嚴禁曝曬可燃氣瓶或氧氣瓶附近嚴禁吸煙，氣瓶不應(yīng)接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據(jù)氣體性質(zhì)分別集中在一個氣瓶間中與助燃氣體分開存貯。

3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯(lián)然后通過一個出口統(tǒng)一減壓后運送氣體至使用點。實驗室供氣系統(tǒng)氣體管路指氣瓶至儀器終端之間連接管線，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-報警器-終端箱-調(diào)節(jié)閥等部分組成，輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。因為氣瓶間是相對獨立的，整個氣路系統(tǒng)壓力1大的地方也是氣瓶出口處，因此這種方式將氣瓶壓力可能發(fā)生的危險縮小至氣瓶間內(nèi)，可對人體及儀器的傷害可降到1低。