單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀

在質譜室內有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；放大靜電計管和冷陰極電離規(guī)。

在離化室N內，氣體電離成正離子，在電場作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經過加速極S1的縫隙進入分析器。在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動，其偏轉半徑可計算。

可見，當B和U為定值時，不同質荷比me-1的離子束的偏轉半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調節(jié)加速電壓U使氦離子束恰好通過出口縫隙S2，到達收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來；而不同于氦質荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉半徑與儀器的R值不同無法通過出口縫隙S2 ，所以被分離出來。 (me-1)2=4，即He 的質荷比，除He 之外，C卅很少，可忽略。

折疊臺式檢漏儀

臺式檢漏儀的顯著優(yōu)點：

(1)適合批量測試使用：該設備包含兩臺前級泵、高傳到液壓集成和三個檢漏儀，大大縮短檢漏周期。

(2)前級泵可選擇性：可以根據不同需求選擇不能類型的前級泵。

(3)操作簡便：自動調整、校準、回零，使得檢漏操作簡便可靠。

(4)運行穩(wěn)定：單極開關啟動或關閉，閥門，保證設備可穩(wěn)定運行百萬次；自保系統可保證設備在誤操作或電源故障條件免于損壞。

氦質譜檢漏儀的工作原理

氦質譜檢漏儀是根據質譜分析原理，以氦為示蹤氣體，對真空設備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統。

我們知道氣體在電子的轟擊下會產生帶電粒子，帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力，而在磁場的作用下將做圓周運動，而具有不同質荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離，這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種，將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。

檢漏的基本任務靠采取一些標準檢漏技術來完成，而采用哪種技術要根據被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統的性質來決定。