相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護形的氧化物，并阻止進一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

無塵車間凈化分為生物潔凈室和非生物潔凈室兩種。生物潔凈室空氣凈化系統(tǒng)必須連續(xù)運轉(zhuǎn);非生物潔凈室使用前空氣凈化系統(tǒng)應(yīng)提前4小時開啟。檢測塵埃粒子用塵埃粒子計數(shù)器，在環(huán)境衛(wèi)生清潔后緩沖0.5～1小時之后進行，為避免人為造成的污染，靜態(tài)測試時潔凈室內(nèi)兩人。的生產(chǎn)過程中應(yīng)對關(guān)鍵控制點進行動態(tài)監(jiān)控。甲醛氣體滅菌技術(shù)。甲醛熏蒸不僅對不易的霉菌有很好的滅菌效果，而且對環(huán)境中的細菌芽孢殺滅效果較好。甲醛熏蒸操作需要注意：首先保證室溫達到35℃以上、相對濕度在60%以上;其次要保證甲醛用量達到房間體積10克/立方米的比例;另外，房間消毒時間不少于12小時;特別值得提醒的是在甲醛置換前用同比例的氨水進行中和，這樣將zui大限度地減少對人體的危害以及對環(huán)境的污染。為了防止細菌對甲醛產(chǎn)生耐藥性，可以用臭氧進行交替效果會更好。

影響無塵凈化工程潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大;(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層。

潔凈室原理  單向流（層流）潔凈室原理, 在潔凈室內(nèi)，從送風(fēng)口到回風(fēng)口，氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒有什么改變，加進步風(fēng)靜壓箱和過濾器的均壓均流效果，全室斷面上的流速對比均勻，而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行，沒有渦流。這也即是單向流潔凈室的三大特點。這兒的流線單向平行，是指時均流線互相平行，方向單一。單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判別是紊流的，所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是徹底不一樣的概念。因此，層流潔凈室這個名詞是不恰當(dāng)?shù)?，國外某些?guī)范和文章也指出這一點，例如英國規(guī)范BS-5295就曾把所謂層流潔凈室界說為單向流潔凈室，僅僅照料習(xí)慣在括號中注明為層流。前聯(lián)邦德國規(guī)范VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語，并在注中指出，層流這一概念僅僅為了差異早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊（亂）流潔凈室而在其時選用的習(xí)慣用語，“層流體系”的切當(dāng)意思并不是分層活動，而是紊流的置換流，用本章說到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中，這種活動狀況也可稱平行流或單向流。1977年我國在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個術(shù)語，在該術(shù)語后邊同時也指出習(xí)慣上稱“層流”。