電子束鍍膜與電阻鍍膜的區(qū)別

電子束蒸鍍與利用電阻進(jìn)行蒸鍍的優(yōu)勢(shì)在于：可以為待蒸發(fā)的物質(zhì)提供更高的熱量，因此蒸鍍的速率也更快；電子束定位準(zhǔn)確，可以避免坩堝材料的蒸發(fā)和污染。但是由于蒸鍍過程中需要持續(xù)水冷，對(duì)能量的利用率不高；而且由于高能電子可能帶來(lái)的二次電子可能使殘余的氣體分子電離，也有可能帶來(lái)污染。沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司擁有先進(jìn)的技術(shù)，我們都以質(zhì)量為本，信譽(yù)高，我們竭誠(chéng)歡迎廣大的顧客來(lái)公司洽談業(yè)務(wù)。此外，大多數(shù)的化合物薄膜在被高能電子轟擊時(shí)會(huì)發(fā)生分解，這影響了薄膜的成分和結(jié)構(gòu) 。

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電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點(diǎn)

* 渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開關(guān)電源，杰出的消弧性能

* 自動(dòng)Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測(cè)，可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點(diǎn)條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門，便于放片/取片

* PC全自動(dòng)控制，具有高度的可重復(fù)性

* Labview軟件的計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制控

* 多級(jí)密碼保護(hù)的授權(quán)訪問設(shè)計(jì)

* EMO保護(hù)以及完全的安全聯(lián)鎖

以上就是為大家介紹的全部?jī)?nèi)容，希望對(duì)大家有所幫助。如果您想要了解更多電子束的知識(shí)，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。