概述

EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。

牢靠且防腐蝕。

先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到低。

軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

訂購信息

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原裝進(jìn)口愛德華真空泵油新品，全國包郵Edwards愛德華真空泵油，真空泵油可改善真空泵性能、耐

磨性和抗高溫性好，泵油使用后不容易乳化與積炭，從而延長換油的時(shí)間間隔。品質(zhì)保證，歡迎購

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真空泵油注意事項(xiàng)：

1、真空泵油在密封條件下保質(zhì)期可以達(dá)到3-5年

2、新泵浦初次使用500小時(shí)后更換泵油，以后每工作1000-1500小時(shí)更換一次。(注：使用環(huán)境比較惡

劣要經(jīng)常觀察泵油顏色）

3、檢查油位鏡，當(dāng)泵油變成黃褐色轉(zhuǎn)入黑色或變成乳白色，需要更換真空泵油。

4、合理地選用真空泵油, 將會(huì)對泵的極限分壓力、極限全壓力、起動(dòng)、功率消耗、泵溫、泵性能的穩(wěn)

定性、真空泵的使用壽命都有好的幫助。

5、供應(yīng)進(jìn)口真空泵油，進(jìn)口真空泵，原廠真空泵配件，真空泵維修保養(yǎng)，真空系統(tǒng)定

做與設(shè)計(jì)。

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。7ft3min-1速度(Pneurop6602)50Hz17。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。我們擁有20余年的經(jīng)驗(yàn)，已在全球安裝了100000多臺(tái)Drystar泵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。愛德華U19真空泵油減小和減少運(yùn)動(dòng)面之間的摩擦、磨損，延長零部件的使用壽命,同時(shí)真空泵油能迅速將油液中夾帶的水分分離出來，達(dá)到所需的真空度。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長 維修間隔。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

適用于鋰離子電池制造設(shè)備的全球真空泵制造商鋰離子電池正在推動(dòng)全世界的環(huán)保議程，可靠的高質(zhì)量真空是其制造過程中的關(guān)鍵因素。我們有一系列適合所有電池制造需求的泵，這些泵由全球服務(wù)和支持網(wǎng)絡(luò)提供支持。 油封旋轉(zhuǎn)式葉片泵：

低成本干泵：

可減少維護(hù)成本并降低環(huán)境影響智能泵：

高控制功能ATEX 認(rèn)證版本：

安全操作

惠州市明勝機(jī)電設(shè)備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養(yǎng)服務(wù)（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環(huán)式等真空泵維修保養(yǎng)）以及各類進(jìn)口真空泵配件耗材?；葜菔忻鲃贆C(jī)電設(shè)備有限公司制造銷售各種真空泵，并提各類真空泵維修保養(yǎng)服務(wù)（羅茨，螺桿，旋片式，干式，水環(huán)式等真空泵維修保養(yǎng)）以及各類進(jìn)口真空泵配件耗材。服務(wù)品牌：普旭（博世）、里其樂、萊寶、貝克、愛發(fā)科、愛德華、大晃、斗一，阿爾卡特等進(jìn)口真空泵。