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發(fā)布時間:2020-12-09 06:02  
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光波超精密技術研究院——單軸花崗石氣浮導軌
氣浮導軌是傳動系統(tǒng)運動的基礎,是傳動系統(tǒng)的關鍵部件之一。因其空氣粘滯低、不易爬行、振動小、熱穩(wěn)定性好、不污染環(huán)境等優(yōu)點。因此這次測試裝置采用空氣靜壓導軌進行設計。氣靜壓力導軌是指通過書流器將有一定壓力的空氣輸送到導軌間隙內,利用氣靜壓力使導軌懸浮,在導軌表面之間形成一層極薄的氣膜,而氣膜厚度基本不變的純空氣摩擦滑動導軌。氣浮導軌副由氣浮塊和承導面組成,每個承導面上至少有兩個氣浮塊。
光波超精密氣浮導軌——單軸花崗石氣浮導軌
相同尺寸的空氣軸承,工作時氣膜厚度和節(jié)流孔直徑減少,可使軸承的剛度提高,但如果節(jié)流孔過小,就會給加工制造增加難度,并且容易出現堵塞現象,因此,在空氣軸承的具體設計中,還應考慮使用環(huán)境、加工水平等實際因素。空氣軸承如果發(fā)生傾斜,氣膜不均勻將降低空氣浮力軸承的剛度,因此在使用時應盡量避免這種現象。氣浮導軌在設計時,可盡可能將同一方向的空氣軸承分散開來。
靜壓氣浮導軌是由氣浮塊、導軌等部件組成。氣浮運動時,氣浮塊與導軌間有壓縮氣體流動形成的氣浮薄膜,這種氣浮薄膜的存在,使氣浮塊與導軌面不直接接觸,減少了摩擦,因而廣泛應用于精密機床、測量機等精密機械。
光波超精密——單軸花崗石氣浮導軌
氣浮導軌是利用空氣粘性,將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導入導軌與滑塊間隙中,形成具有超高剛度的氣膜間隙,從而支撐負載實現平穩(wěn)運動。
應用行業(yè):電子制造裝備行業(yè)中,如光刻機、貼片機等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實驗室測量
使用壽命摩擦系數接近為零,永不i磨損,精度延續(xù)性精度持久性高,出廠精度即為永i久精度導軌永不i磨損,因此不存在售后問題,使用成本不用返廠維修,更不用整套更換。
基準修正精度永不損失,導軌不用人為修正,補償,高頻雜波信號干擾測量精度高。氣膜剛度大,運動平穩(wěn),振幅小,且振動頻率接近,因此可完全避免和消除在高精度測量中振動對測量精度的影響,
氣浮導軌,簡單易行,即利用壓縮空氣使滑塊和導軌座相對懸浮,實現無摩擦、無振動的平滑運動,并具有高精度導引。氣浮導軌相位滾動導軌的優(yōu)點有:1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小,且均勻度好,精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關系,即使在非常低速也不會產生爬行,運動平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護、清潔環(huán)保。
作為工業(yè)產品,直線導軌在機械上的應用很重要,肯定是要用到它的,不僅僅是美觀上,在應用體驗上也要創(chuàng)新設計,對產品進行不斷的研究,直線導軌在不同的應用上使用一定年限后會產生變化,那么就需要我們對產品進行設計和改進。
所以既然要設計直線導軌,那么首先要遵循直線導軌副的自動貼合原理,要使導軌精度高,就必須使導軌副具有自動貼合的特點。橫梁可以靠移動部件的重量來固定,而其他的橫梁則需要額外的彈簧力或滾筒壓力來固定。
光波超精密氣浮導軌廠家——單軸花崗石氣浮導軌
然后是全接觸原理,固定直線導軌的長度,要求動導軌必須處于行程的兩個極限位置,與固定導軌進行全接觸,以保證直線導軌副在接觸過程中能完成全接觸,使之達到完i美狀態(tài)。
在使用環(huán)境惡劣的地方,有的型號還配備了專用的軟伸縮防塵罩和專用的防塵罩。此外,如果需要在易受切削屑和切削液噴濺影響的環(huán)境下使用,建議采用軟環(huán)形伸縮罩,以保護整個系統(tǒng),或采用大面積伸縮防塵罩。
為了改善防塵性能,每一直線導軌系統(tǒng)均配以高耐磨損的特殊合成橡膠制成的密封墊片,以及層疊式接觸刮i刀、清潔環(huán)等配件。