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發(fā)布時間:2021-09-26 12:01  
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真空鍍膜加工對于 高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應貯存在真空干燥箱中。對經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在大氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛 氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳氫化合物蒸氣的吸附減至。因為這些容器優(yōu)先吸附碳氫化合物。
真空鍍膜加工清除鍍膜室內(nèi)的灰塵,設置清潔度高的工 作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求??諝鉂穸却蟮牡貐^(qū),除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部 件認真清洗外,還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴散泵返油,對加熱功率高的擴散泵必須 采取擋油措施。


真空鍍膜技術是在真空條件下采用物理或化學方法,使物體表面獲得所需的涂層,目前已被廣泛應用于耐酸、耐蝕、耐熱、表面硬化、裝飾、潤滑、光電通訊、電子集成、能源等領域。真空鍍膜技術也是PVD涂層的常用制備方法,如真空蒸發(fā)、濺射鍍膜和離子鍍等通常稱為物理氣相沉積法(PVD),是基本的涂層制備技術。它們都要求淀積薄膜的空間要有一定的真空度。

真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi),采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)或升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。
在真空條件下成膜有很多優(yōu)點:可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞,減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學反應(如氧化等),以及減少成膜過程中氣體分子進入薄膜中成為雜質(zhì)的量,從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。
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鍍膜技術都需要一個特定的真空環(huán)境。薄膜和基體選材廣泛,薄膜厚度可進行控制,以制備具有各種不同功能的功能性薄膜。在真空鍍膜加工方面,通常對蒸發(fā)源應考慮蒸發(fā)源的材料和形狀。特種燈具反光杯廠家加工