無塵車間的原則:

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。無塵車間振動控制一、無塵車間和周圍輔助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈廠房的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高1效率的設(shè)計(jì)和高1效率設(shè)備需要很大的前期投入。

無塵車間風(fēng)量和風(fēng)速的檢測方法：

無塵車間工程項(xiàng)目在竣工完成之后，需要由乙方相關(guān)人員對整個(gè)無塵車間的通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行風(fēng)量檢測和風(fēng)速檢測。步主要是為了錫膏能工作在一個(gè)比較好的室內(nèi)環(huán)境，溫度會不良影響錫膏的活性，對于里邊所加入的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的不良影響。檢測的目的是了解風(fēng)量和風(fēng)速的偏差有多大，以便于工作人員現(xiàn)場調(diào)節(jié)，要知道風(fēng)速過大是會影響空氣過濾器的使用壽命以及可能會將空氣過濾器吹穿。風(fēng)速過小又會直接影響車間內(nèi)部空氣的循環(huán)從而影響無塵車間空氣的潔凈度

無塵車間的風(fēng)量監(jiān)測：

采用套管法時(shí)，能用輕質(zhì)板材或膜材制成與風(fēng)口內(nèi)截面相似或相近、總長度大于二倍風(fēng)口邊長的直管段當(dāng)做輔助風(fēng)管，連接于過濾器風(fēng)口外部，在套管出口平面上，均勻區(qū)劃小方格，方格邊長不超200mm,在方格中心點(diǎn)設(shè)測點(diǎn)。機(jī)動靈活，即適合在新建廠房配套安裝，也適宜老廠房的凈化技術(shù)改造。針對小風(fēng)口，至少測點(diǎn)數(shù)不少于6點(diǎn)。也可采用錐形套管，上口與風(fēng)口內(nèi)截面同樣或相近，下口面積不小于上口總面積的二分之一，總長度宜超出1.5倍風(fēng)口邊長，側(cè)璧與垂直面的傾斜角不適合超出7.5°，以測定截面均值風(fēng)速，乘以測定截面凈面積算出風(fēng)量。

無塵車間的管線十分復(fù)雜，所以對這些管線均選用隱蔽組織方法：

a、頂部技能夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面，故作為夾層內(nèi)首要考慮的目標(biāo)。一般將其組織在夾層的上方，其下組織電氣管線。當(dāng)這種夾層的底板可接受必定分量時(shí)，能夠在上面設(shè)置過濾器及排風(fēng)設(shè)備等。

b、房間技能夾層。這種方法和頂部夾層比較，能夠削減夾層的布線與高度，能夠省去回風(fēng)管道返回上夾層所需的技能夾道。夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機(jī)動力設(shè)備配電等，某層無塵車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。