熱風循環(huán)烘箱真空度達不到怎么辦？

熱風循環(huán)烘箱的操作在各種試驗中都比較簡單，但在使用過程中也可能遇到各種情況。今天，我將集中討論在使用熱風循環(huán)烘箱的過程中，如果沒有達到真空度，如何處理它。

1.真空泵沒有啟動。首先檢查真空泵是否接通；然后找到真空泵的真空油位觀察窗口，看看是否有真空油，如果沒有真空油，則需要在真空泵停止時加熱真空油；之后看看真空泵的按鈕開關是否打開。

2.門密封不嚴漏。熱風循環(huán)烘箱的門密封硅橡膠帶使用時間長，不能按外玻璃門產(chǎn)生間隙，這種故障只能聯(lián)系廠家購買同類密封條并更換。

3.真空箱焊接時的漏風。關閉真空箱門，打開真空泵并將其真空，然后用礦泉水瓶裝肥皂水在熱風循環(huán)烘箱的焊接點擠壓肥皂泡，以確定肥皂泡沫是否被吸進真空箱的內(nèi)腔。

熱風循環(huán)烘箱——烘箱安全操作規(guī)程

1.烘箱要按照銘牌上所規(guī)定的溫度范圍使用，烘箱必須保持接地良好。

2.烘箱附近不得堆放油盆、油桶、棉紗、布屑等易l燃物品，不得在烘箱旁進行洗滌、刮漆和噴漆等工作。

3.要防止其他物件落入烘箱底部與電阻絲接觸造成短路。

4.打開烘箱前，必須先斷電。加溫過程中操不得離開。

5.不得在烘箱內(nèi)存放物品，如工具，器材零件及油料揮發(fā)物。

熱風循環(huán)烘箱在光刻中的應用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設定涂層的速度和旋轉速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風機的烘箱都可稱為熱風循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結構，風向水平還是垂直，歸根到底都是熱風在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風循環(huán)烘箱，如電熱鼓風烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。