無塵車間的原則:

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高1效率的設計和高1效率設備需要很大的前期投入。無塵車間的平面安置能夠有以下幾種方法：外廊盤繞式：外廊能夠有窗和無窗，兼作觀賞和放置一些設備用，有的在外廊內設直勤采暖。

無塵區(qū)內各無塵車間的門，考慮到保持室內壓力情況的需求，其開設方向要朝向壓力大的房間，由于要靠壓力把門壓緊，這明顯和安全分散的要求相反。為了考慮平常無塵和緊迫分散時的兩方面要求，規(guī)則無塵區(qū)和非無塵區(qū)之間的門、無塵區(qū)與室外的門作為安全分散門對待，其敞開方向一概朝向分散方向，當然，單設的安全門也是如此。建筑風道和回風地溝的內表面裝修標準，應與整個送、回風系統(tǒng)相適應，并應易于除塵。安徽科林爾

無塵車間內的噪聲等級應符合下列要求：

一、動態(tài)測試時，潔凈廠房內的噪聲級不應超過65分貝A。

二、空態(tài)測試時，亂流潔凈廠房的噪聲等級不宜大于58分貝A，層流潔凈廠房的噪聲級不應大于60分貝A。

三、無塵車間的平、剖面布置，應考慮噪聲控制的要求，其圍護結構應有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。

四、無塵車間內的各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲超過潔凈廠房允許值的設備，應設置專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。

無塵車間照明照度要求比一般廠房高，室內頂棚較矮，照明所消耗的能量大，普遍采用熒光燈作為光源是比較適合的。但是選擇不同種類的熒光燈管，對提高光效、節(jié)約能量也是很重要的。選用電子鎮(zhèn)流器或節(jié)能電感鎮(zhèn)流器也可以達到節(jié)能的目的，熒光燈用電子鎮(zhèn)流器及節(jié)能電感鎮(zhèn)流器與傳統(tǒng)電感鎮(zhèn)流器相比，自身功耗小、能效因數(shù)高、可明顯節(jié)約電費開支，但價格高。風管的制作與安裝所采用的板材、型材及其其他的關鍵成品材料，應滿足設計規(guī)定，并需有出廠產品檢驗合格證明材料。