高大上的電子氣體——特種氣體

我國(guó)特種氣體市場(chǎng)起步較晚，所以在技術(shù)領(lǐng)域較國(guó)外巨頭企業(yè)有一定的差距，也正是因?yàn)槿绱颂胤N氣體市場(chǎng)長(zhǎng)期被外企所壟斷。但近年來國(guó)內(nèi)電子氣體奮起直追，表現(xiàn)格外搶眼。

伴隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，特別是21世紀(jì)后我國(guó)電子行業(yè)的突飛猛進(jìn)，國(guó)內(nèi)特種氣體公司意識(shí)到了專有技術(shù)的重要性。我國(guó)在特種氣體生產(chǎn)、儲(chǔ)存等領(lǐng)域上取得了重要突破，特別是電子特氣目前基本實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化，基本打破了國(guó)外企業(yè)的壟斷。

近年來我國(guó)微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體的使用要求極高，所以我們特將這個(gè)領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。

高純氣體管道的安裝與施工！

高純度、高潔凈氣體管道的施工不同于一般工業(yè)管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質(zhì)量。因此，要理解安裝氣體質(zhì)量的重大意義，要求嚴(yán)格遵守設(shè)計(jì)和施工要求，工作嚴(yán)肅認(rèn)真、一絲不茍，要高度重視各個(gè)細(xì)小環(huán)節(jié)，建成符合要求的管路系統(tǒng)。高純氣體要求做到以下幾個(gè)方面:

1、外觀的檢查工作

(1)管道系統(tǒng)的管材、閥門及所有附件，嚴(yán)格設(shè)計(jì)要求選用，不得隨意更改或代換。

(2)所有管材應(yīng)放在室內(nèi)精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。

(3)管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、。

2、配管的準(zhǔn)備工作

(1)無論多大壓力、何種介質(zhì)及何種用途的配管，下料時(shí)均不得采用氧、乙炔焰切割。無論是機(jī)械或手工下料，分段處不得涂抹油脂或使用潤(rùn)滑劑。

(2)高純氣體指出，管子切口應(yīng)當(dāng)與管軸線嚴(yán)格垂直，切口表面平整，不得有裂紋、毛刺。

(3)各種閥門應(yīng)在安裝前清洗，清洗前先應(yīng)研磨、試壓合格，然后拆成零部件，并在三或溶劑中浸泡1~1.5h。

3、金屬管道的連接

(1)管道材質(zhì)：用于輸送高純氣體的金屬管道材質(zhì)主要有:低碳不銹鋼、銅管等。

(2)連接方式:焊接、螺紋連接、法蘭連接等。

隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級(jí)進(jìn)人到亞微米(小于1um)級(jí)以及深亞微米(小于0.18um)級(jí),這樣,對(duì)半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來越高,對(duì)這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴(yán)格,已達(dá)到ppb、ppt級(jí),塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對(duì)超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出，工藝氣體中的雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體制造的整個(gè)過程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴(kuò)散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導(dǎo)致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。

熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常，引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出，由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價(jià)昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對(duì)其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。