什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。質(zhì)量流量控制器抗干擾能力強(qiáng)，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點，且易清洗、具備自排空功能。冶金，制藥等。特點：精度高，重復(fù)性好。

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流量控制器

越來越多的朋友對氣體質(zhì)量流量計﹑質(zhì)量流量控制器產(chǎn)生了濃厚的興趣。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。若在其進(jìn)口端裝一塊或二快多孔板式流動調(diào)整器（整流器）后，則其長度可大為縮短。

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。流量控制器的穩(wěn)定控制時間由于到達(dá)設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào)，所以通常制造商用到達(dá)設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

選擇產(chǎn)品和訂貨時應(yīng)當(dāng)注意

注意選擇合適的響應(yīng)時間指標(biāo)

有的應(yīng)用系統(tǒng)對MFC的響應(yīng)時間有較高的要求，用戶應(yīng)根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應(yīng)時間指標(biāo)的同時，還應(yīng)注意其響應(yīng)過程及動態(tài)特性。

注意對安裝位置有無要求

有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。

注意使用氣體和適用范圍

MFM/MFC 對使用的環(huán)境及介質(zhì)溫度﹑氣源壓力﹑介質(zhì)（特別是使用對腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。

注意接頭形式

通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應(yīng)用。

訂貨應(yīng)注明：

產(chǎn)品名稱、型號、流量規(guī)格、標(biāo)定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數(shù)量。