掃描電鏡廣泛應用于許多學科領(lǐng)域

臺式掃描電鏡在材料科學、金屬材料、陶瓷材料半導體材料、化學材料等領(lǐng)域，進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體/晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。

　　掃描電鏡具有高分辨率，景深大，立體感強，放大倍數(shù)可調(diào)等優(yōu)點，因此廣泛用于半導體，無機非金屬材料和器件的檢測。除了時間和費用外，它還對電子顯微鏡的操作者產(chǎn)生了束縛，是研究微觀世界的重要工具之一。它為人們提供了研究納米尺度物質(zhì)結(jié)構(gòu)的有力手段，已廣泛應用于許多學科領(lǐng)域，例如材料科學和質(zhì)量過程控制

全自動掃描電子顯微鏡是生產(chǎn)工藝中的關(guān)鍵設(shè)備

全自動掃描電子顯微鏡是一款全自動、無損顯微分析系統(tǒng)，可針對幾乎所有無機材料和部分有機材料，迅速提供在統(tǒng)計學上可靠且可重復的礦物學、巖相學和冶金學數(shù)據(jù)，在業(yè)，全自動掃描電子顯微鏡可用于礦產(chǎn)勘查、礦石表征和選礦工藝優(yōu)化。在石油和行業(yè)，對鉆井巖屑和巖心試樣進行顯微分析，從而降低風險并提高采收率。在煤炭行業(yè)，利用該系統(tǒng)自動分析煤、煤粉和煤燃燒產(chǎn)物，可以更好地了解煤燃燒和廢物利用情況。

由于高能電子與物質(zhì)的相互作用，結(jié)果在試樣上產(chǎn)生各種信息如二次電子、背反射電子、俄歇電子、X射線、陰發(fā)光、吸收電子和透射電子等。因為從試樣中所得到各種信息的強度和分布各自同試樣表面形貌、成分、晶體取向、以及表面狀態(tài)的一些物理性質(zhì)（如電性質(zhì)、磁性質(zhì)等）等因素有關(guān)，因此，通過接收和處理這些信息，就可以獲得表征試樣形貌的掃描電子像，或進行晶體學分析或成分分析。

在全自動掃描電子顯微鏡應用中，很多集中在半導體器件和集成電路方面，它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化，焊接開裂和腐蝕表面的細節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。

電鏡在催化劑觀察中的應用

配備有能譜的掃描電鏡是一種重要的表面分析手段，能夠觀察催化劑表面形貌和檢測催化劑表面微區(qū)成分，對催化劑的研發(fā)具有十分重要的意義。臺式掃描電鏡能譜一體機 ProX 既能觀察樣品表面形貌，還可以利用能譜對催化劑表面成分和元素分布進行分析。

從催化劑的微觀觀點上看，催化劑表面形貌和組成對催化行為具有重要的影響，電鏡配置二次電子和背散射電子探頭，能夠充分發(fā)掘樣品表面信息。催化劑中活性成分的分散狀態(tài)與催化劑活性及使用壽命有著密切的關(guān)系，采用能譜分析可以對催化劑表面進行元素分析，從而判斷活性成分的分布。同時，利用臺式電鏡也可以用于分析催化劑活性下降或失活的原因。

掃描電鏡之電子探針顯微分析

掃描電鏡之電子探針顯微分析

顯微結(jié)構(gòu)分析

電子探針是利用0.5μm－1μm的高能電子束激發(fā)所分析的試樣，通過電子與試樣的相互作用產(chǎn)生的特征X 射線、二次電子、吸收電子、 背散射電子及陰極熒光等信息來分析試樣的微區(qū)內(nèi)(μm范圍內(nèi))成份、形貌和化學結(jié)合狀態(tài)等特征。電子探針成分分析的空間分辨率（微區(qū)成分分析所能分析的區(qū)域）是幾個立方μm范圍， 微區(qū)分析是它的一個重要特點之一, 它能將微區(qū)化學成份與顯微結(jié)構(gòu)對應起來，是一種顯微結(jié)構(gòu)的分析。而一般化學分析、 熒光分析及光譜分析等，是分析試樣較大范圍內(nèi)的平均化學組成，也無法與顯微結(jié)構(gòu)相對應, 不能對材料顯微結(jié)構(gòu)與材料性能關(guān)系進行研究。