實(shí)驗(yàn)室里面的儀器設(shè)備該如何去除灰塵？精密儀器的除塵，塵埃多為帶有微量靜電的細(xì)小塵粒，常飄浮于空氣中，隨氣流而動(dòng)，遇物便附著其上，幾乎無(wú)孔不入。塵埃附著在模型標(biāo)本上會(huì)影響其色澤，運(yùn)動(dòng)部件上有塵埃會(huì)增大磨損，電器上有塵埃，嚴(yán)重者會(huì)形成短路、漏電，貴重精密儀器上有塵埃，嚴(yán)重者會(huì)使儀器作廢。鏟除塵埃的辦法許多，首要應(yīng)依塵埃附著外表的情況及其塵埃附著的程度而定。在枯燥的空氣中，若塵埃較少或塵埃沒(méi)有受潮結(jié)成塊斑，可用干布拭擦，毛巾?yè)鬯?，軟毛刷刷等辦法，鏟除一般儀器上的塵埃；對(duì)儀器內(nèi)部的塵?？捎闷み蟆⑾炊蚴酱騫i筒吹氣除塵，也可用吸塵器吸塵；對(duì)角、縫中的塵?？蓪⑸鲜鰩追N辦法結(jié)合起來(lái)除塵。

凈化工程車間的防靜電處理,1.使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施，使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。2.半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能，能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然，有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。3.對(duì)于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應(yīng)有良好的接地性能，這種措施極為有效。

凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈?，?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超越25度。