潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間，其建造和使用方式可減少房間進入的、產生的和滯留的粒子。房間內的溫度、濕度、壓力等其他相關參數(shù)均按要求受控（ISO14644-6）。潔凈室的四大技術要素：送風至少經(jīng)過三級過濾（粗效、中效和），并且過濾器應設置在系統(tǒng)的末端。潔凈室應有足夠的凈化和空調的送風量。潔凈室應維持必要的壓力梯度（正壓梯度或負壓梯度）。潔凈室應有合理的氣流組織。

潔凈室的分類：按氣流流型潔凈室可劃分為：單向流潔凈室；非單向流潔凈室；混合流潔凈室；矢流潔凈室。單向流潔凈室：單向流（層流）潔凈室，其中又分垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。按潔凈室主要控制對象劃分潔凈室又可劃分為：工業(yè)潔凈室；生物潔凈室。工業(yè)潔凈室：工業(yè)潔凈室主要的控制對象是灰塵粒子（不分有生命的、無生命的）。工業(yè)潔凈室主要應用在電子、航天、航空、機械、化工、化學制藥、能源、納米等工業(yè)中。尤其是電子工業(yè)和光電子工業(yè)更是離不開潔凈室和潔凈技術。

潔凈室內的注意事項：

防靜電手套及手指套被破損或受污染時立即更換新的使用。作業(yè)時Clean Room帽(防靜電帽)，防靜電服及防靜電鞋破損或受污染時通知組長交換新的使用。開始作業(yè)時、終了時，休息時間過后要用滾筒架清掃作業(yè)臺及周邊。作業(yè)臺上禁止放置不必要的什器。禁止坐著轉動椅子或向后擺動。禁止靠在裝備、墻，作業(yè)臺等。禁止坐在地板上。禁止用手套觸摸皮膚。交換器及電源等電裝置要注意觸電。完成作業(yè)之后整理，整頓作業(yè)臺、尺工具及周圍后退室。

單向流潔凈室工作原理

在單向流潔凈室內，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面，所以這種潔凈室不是靠摻混作用，而是靠推出作用將室內臟空氣沿整個斷面排至室外，從而達到凈化室內空氣的目的。

輻流潔凈室（也稱矢流潔凈室）

輔流潔凈室氣流組織的基本原理：輔流潔凈室應屬于非單向流，但又比較接近于單向流的效果，而在構造上又遠比單向流簡單。