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發(fā)布時(shí)間:2021-08-17 04:49  
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無(wú)塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢?應(yīng)遵守下列基本原則:排除/除去,在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中,為了不讓無(wú)塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作,即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下:由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的,但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無(wú)法說(shuō)是肯定理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí),不僅僅是向無(wú)塵室外排氣,而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內(nèi)之對(duì)策。
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