光學(xué)器件制作工藝的特殊要求

根據(jù)光學(xué)器件制作工藝的特殊要求，需要在超凈室中實(shí)驗(yàn)進(jìn)行工作。千級(jí)凈化車間內(nèi)可以進(jìn)行涂膠、光刻、蒸發(fā)鍍膜及鍵合，清洗、烘干、電鍍、腐蝕、擴(kuò)散及研磨等。千級(jí)凈化車間各項(xiàng)功能的配備均以滿足各項(xiàng)工藝要求為前提,它具備以下特點(diǎn):(1) 在潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)隔離口設(shè)有“TJ —1”型單人定時(shí)冷熱風(fēng)淋室,它是工作人員進(jìn)入超凈室的凈化關(guān)口。(2) 在非潔凈區(qū)設(shè)有更衣室,操作人員更換防靜電潔凈服后才可進(jìn)入超凈室。(3) 設(shè)有室內(nèi)對(duì)外器件、物品傳遞窗。

室內(nèi)面積達(dá)24m2,其工作潔凈度達(dá)1000級(jí)

室內(nèi)面積達(dá)24m2 ,其工作潔凈度達(dá)1000 級(jí),在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺(tái)以及凈化涂膠機(jī),工作潔凈度達(dá)100 級(jí)。室內(nèi)用于顯影及清洗器件的高純水,是由設(shè)在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過(guò)濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質(zhì)純度,其輸出水質(zhì)電阻率≥15MΩ。在工作人員健康保障方面,超凈室設(shè)有空調(diào)、凈化排風(fēng)系統(tǒng)。涂膠臺(tái)及電鍍腐蝕工作臺(tái)設(shè)置了獨(dú)立的對(duì)外排風(fēng)系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染?？照{(diào)系統(tǒng)保障了室內(nèi)濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內(nèi)循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內(nèi)潔凈度提供了保障。

無(wú)菌檢測(cè)潔凈車間的內(nèi)部室內(nèi)裝修規(guī)定

無(wú)菌檢測(cè)潔凈車間的內(nèi)部室內(nèi)裝修規(guī)定屋子排架結(jié)構(gòu)的氣體密閉性好，屋內(nèi)無(wú)臟亂差，家裝材料表面光潔但不返光、耐工作壓力而不起塵、便于清潔、不容易產(chǎn)霉和長(zhǎng)菌、可以融入各種各樣消毒液和氣體殺菌蒸熏的浸蝕和紫外光直射。凈化廠房墻、頂板才通常多選用50mm厚的夾心彩鋼板生產(chǎn)加工制造，其特性為外形美觀大方、剛度強(qiáng)?；⌒螇δ_、門、窗子等通常選用型空氣氧化鋁合金型材生產(chǎn)加工制造。

回風(fēng)管及回風(fēng)口處理:圖紙?jiān)O(shè)計(jì)為側(cè)

回風(fēng)管及回風(fēng)口處理：圖紙?jiān)O(shè)計(jì)為側(cè)墻面回風(fēng)，為了保證墻面平整，不增加凹凸面，將回風(fēng)立管移至手術(shù)室的兩斜對(duì)角處，用有一定強(qiáng)度和剛度的表面光潔的輕質(zhì)板材做成八字形風(fēng)道，隔墻高2.9m，將回風(fēng)濾管、過(guò)濾器安裝在風(fēng)道內(nèi)，百葉回風(fēng)口采用定型產(chǎn)品300×300，風(fēng)口中心標(biāo)高為0.35m，葉片豎裝，以避免百葉片上積塵。手術(shù)室和輔助用房?jī)?nèi)不得有明露管線。管線隱蔽工程在管線施工完成并進(jìn)行試壓驗(yàn)收后進(jìn)行。管線穿墻、穿吊頂處的洞口周圍用密封材料嵌縫修補(bǔ)平齊、嚴(yán)密并清潔。隱蔽工程的檢修口周邊應(yīng)粘貼氣密性密封墊。