光波超精密——石墨氣浮導軌廠家

該微結構能有效地應用于超精密機床的動靜導軌表面，可有效地降低氣浮導軌間隙內高速氣體的流動阻力，提高機床定位精度和系統(tǒng)運動速度。以計算流體動力學方法(CFD)為基礎(Computational fluid dynamics, CFD)，應用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-：湍流模型，建立了導軌微結構表面流體動力減阻分析模型，并結合流場分析和阻力分析，尋找符合氣浮導軌功能要求的微結構表面。本文研究了導軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數(shù)對減阻效果的影響規(guī)律，并通過識別各種因素對減阻效果的影響規(guī)律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結構表面形態(tài)，確定了z適ui合超精密機床氣浮導軌減阻要求的微溝槽形狀。然后，通過研究導軌氣浮表面微結構減阻功能表面的幾何特性(構型、尺寸、形狀、位置等)對減阻的影響規(guī)律，對氣浮導軌微結構功能表面的參數(shù)進行了優(yōu)化設計。

光波超精密空氣導軌——石墨氣浮導軌廠家

氣浮式導軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過節(jié)流器引入導軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負載得以平穩(wěn)運行i。

氣浮式導軌電子制造設備工業(yè)中超精密測量和實驗室測量，如光刻機、貼片機等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零，永i不磨損。

持久的精i確度，出廠精i確度即永i久精i確度

導向器永i不磨損，因此不存在售后問題，無需返修，更不用全套更換。

精i確度永不丟失，導軌無需人工校正，補償。

計量準確。由于氣膜剛度大、運動平穩(wěn)、振幅小、振動頻率接近，所以可以完全避免和消除高精度測量中振動對測量精度的影響，摩擦力小，低速運動不會產生爬行抖動現(xiàn)象。隨動電機快速性好，適應頻繁啟停測試要求

光波超精密技術研究院——石墨氣浮導軌廠家

在兩個互相運動的平面之間有一個空隙 h (通常是幾個微米到幾十個微米)，被支撐件的下平面上有一個面積一定的氣腔(氣腔直徑為 d)，氣體通過節(jié)流器(節(jié)流器直徑為 d)進入氣腔，這樣被支撐件①就在氣壓作用下，被支撐件②就在支撐件②上滑動，使被支撐件①在氣缸中形成氣浮支撐.當高壓氣體處于一定壓力下時，氣浮支撐件①就在氣浮中形成。進氣腔通過節(jié)流器流動時，壓力下降到 P。當氣腔和間隙兩部分所占的面積需要合理設計時，系統(tǒng)就可以使間隙基本保持恒定，并使之處于力平衡狀態(tài).但是當外加載 F突然增大時，間隙就會立即減小.因為流經間隙的流量與外加載 F成正比，流速就會大大降低，從而使外加載 F自動增大.

光波超精密氣浮導軌——石墨氣浮導軌廠家

氣浮導軌z大ui的不同之處就是我們把滑軌和滑塊結合起來的獨特機制。利用真空復i制使載體臺架在導軌上，消除了振動和諧波噪聲。極i好的穩(wěn)定性、平直性和剛度由此得到保證，保證了每一次實現(xiàn)納米級定位。

使用空氣可大大減少運行時的維護情況。不但不需要進行繁重的潤滑要求，而且污染和除氣問題也已經過時。

與納米級精i確度相比，高速操作可同時提高產量和質量，與傳統(tǒng)潤滑油相比，空氣處理可解決污染和除氣問題，是潔凈室操作的理想選擇采用多孔介質技術，使空氣分布均勻，不但具有亞納米級的精度，而且具有內在的防撞設計，以zui大程度地減少潛在損壞，減少維修停機時間，提高操作效率

氣體靜壓導軌的運動部件和支撐部件通過氣膜彼此隔離，當壓縮空氣靜壓導軌和支撐表面之間的空隙中排出時就形成了氣膜。這種氣浮墊通常在一組導軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進入氣腔，沿封氣朝向外流動，在封氣面和承導面之間形成有承載能力的氣膜。在密封面處，氣腔承載力之和將氣浮墊和與其連接的平臺浮起。工況下承載力與載荷處于平衡狀態(tài)，從而產生氣體摩擦。負荷增大時，氣膜厚度降低，而負荷增大時，氣膜厚度增加；氣膜既起承壓作用，又起潤滑作用。

空氣靜壓導軌是三坐標測量機實現(xiàn)三維運動測量的重要組成部分。早期研制的三坐標摩擦導軌，大多采用滑動摩擦導軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導軌代替滑動摩擦導軌。風壓式導軌摩擦系數(shù)小，運行平穩(wěn)，運動精度高，磨損小，是目前三坐標測量機中使用zui廣泛的一種導軌形式。

空氣靜壓導軌的工作原理空氣靜壓導軌的運動部件和承載部件通過氣膜相互隔離，氣膜是在壓縮空氣從氣浮器和承導面之間的空隙排放出來的。這種氣浮墊通常在一組導軌中放置幾個。圖1為普通氣浮墊片工作原理圖。潔凈、干燥、恒壓的壓縮空氣從氣源向外通過節(jié)流器進入氣腔，沿封氣朝向外流動，在封氣面和承導面之間形成有承載能力的氣膜。

直線導軌又稱線軌、滑軌、線性導軌、線性滑軌，用于直線往復運動場合，且可以承擔一定的扭矩，可在高負載的情況下實現(xiàn)高精度的直線運動。直線導軌運動的作用是用來支撐和引導運動部件，按給定的方向做往復直線運動。直線導軌已經越來越廣泛地被應用在數(shù)控機床、數(shù)控加工中心、精密電子機械、自動化設備等行業(yè)。

通常，直線導軌的選用必須根據(jù)使用條件、負載能力、和預期壽命選用。所謂使用條件主要是指應用何種設備、精度要求、剛性要求、負荷方式、行程、運行速度、使用頻率、使用環(huán)境等因素。根據(jù)條件選擇對應的合適產品系列。

光波超精密氣浮導軌廠家——石墨氣浮導軌廠家

目前市場上直線導軌的生產廠家很多，各個廠家的型號命名和類型有所不同。中達PMI的直線導軌類型比較齊全，基本上可以完全覆蓋市場上的所有需求，其主要的類型有自調心全鋼i珠重負荷型(MSA)、自調心全鋼i珠低組裝型(MSB)、全不銹鋼微小型(MSC)、全滾柱重負荷型(MSR)、靜音鋼i珠(柱)重負荷型(SME/R)。