DZS800型電子束鍍膜設(shè)備

主要用途：　　

用于制備導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜等，批量生產(chǎn)型。

系統(tǒng)組成:　　

系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、計算機(jī)系統(tǒng)及安裝機(jī)臺等部分組成?！　?

技術(shù)指標(biāo)：　　

極限真空度：≤6.7×10 Pa　　恢復(fù)真空時間：從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min　　

系統(tǒng)漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；　　

真空室：真空室1200x9000 x800mm采用U型箱體前開門，后置抽氣系統(tǒng)　　

e型電子槍：陽極電壓：10kv(2套)　　坩堝：水冷式坩堝，24穴設(shè)計，每個容量11ml　　

功率：0-10KW可調(diào)　　電阻蒸發(fā)源(可選)　　

基片尺寸：可放置4″基片一次更換20個樣品　　

樣品臺：基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5-60轉(zhuǎn)/分基片與蒸發(fā)源之間距離350mm加熱溫度 400°C±1°C　　

氣路系統(tǒng)：質(zhì)量流量控制器1路　　

石英晶振膜厚控制儀：監(jiān)測膜厚顯示范圍：0-99μ9999?

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)電子束產(chǎn)品供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪陨闲畔ⅰ?

電子束原理介紹

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)、銷售電子束產(chǎn)品，我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。

電子在電場中會受力而得到加速、提高能量，產(chǎn)生電子束。顯像管中的電子槍對應(yīng)于增速器的電子槍或離子源，顯像管中加速電子用的高壓電極對應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。電子束焊原理一臺電子增速器，注入的電子能量為20GeV（1GeV=109 eV，也就是10億電子伏特），相應(yīng)的電子速度為0.99999999979倍光速。電子經(jīng)增速器加速后，能量可達(dá)到100GeV，電子速度達(dá)到0.999999999987倍的光速。這說明，電子在這臺增速器里速度幾乎沒有增加，而能量增加了4倍。

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是由哪些部分組成的？

以下內(nèi)容由沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供，今天我們來分享電子束產(chǎn)品的相關(guān)內(nèi)容，希望對同行業(yè)的朋友有所幫助！

設(shè)備組成：

設(shè)備由薄膜沉積室、真空獲得系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、水冷卻循環(huán)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)測及控制系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)組成。

作用：電子束蒸鍍常用來制備Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蝕和耐高溫氧化膜。