渦旋真空泵的主要性能表征參數(shù)

5.1.1間隙大小

   間隙包括軸向間隙和徑向間隙。由于軸向間隙只是由設(shè)計(jì)精度、加工精度和

裝配精度進(jìn)行控制的，也比較容易控制，在此不做過(guò)多的介紹。而徑向間隙可以

由式((2.11)計(jì)算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽氣速率

   理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉(zhuǎn)速和是否是雙側(cè)渦旋共同決定的一

個(gè)反映抽氣性能的參數(shù)，也叫幾何抽速。假設(shè)轉(zhuǎn)速為n(轉(zhuǎn)/秒)，并且該禍旋泵

為雙側(cè)渦旋，那么Sth可表達(dá)為下式:

                     S1,=2仇、 Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分別為轉(zhuǎn)子和定子所形成的外層完整內(nèi)壓縮腔和外層完整外壓

縮腔的容積。、

   實(shí)際抽速是指泵實(shí)際排出氣的速率。由于渦旋無(wú)油泵存在著軸向和徑向泄

漏，其實(shí)際抽速S要低于理論抽速Sth，設(shè)P:為吸入口壓力，P:為排氣口壓力，

Q。為總泄漏，則〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

則實(shí)際抽速為

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3極限壓力

   渦旋式無(wú)油真空泵的極限壓力是指不進(jìn)入氣體長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)，在測(cè)試罩內(nèi)所能達(dá)

到的穩(wěn)定時(shí)的低壓力，用P。表示。此時(shí)泵的實(shí)際抽速S=O，令式((5.3)中的實(shí)際

抽速S=O，即可得極限壓力〔10)

(5.4)

半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導(dǎo)體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因?yàn)樗鼈兡軌驖M足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點(diǎn)減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來(lái)優(yōu)化從輕負(fù)荷制程到超重負(fù)荷制程的各項(xiàng)應(yīng)用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導(dǎo)體 制程中的一個(gè)關(guān)鍵步驟。半導(dǎo)體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會(huì)提升制程正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認(rèn)證水平，同時(shí)通過(guò)減輕不利于環(huán)境的排放、延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務(wù)成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤(rùn)式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠(yuǎn)紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應(yīng)對(duì)這兩種應(yīng)用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因?yàn)檩p型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長(zhǎng)。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長(zhǎng)維修間隔。摘要：設(shè)備安裝與試運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備監(jiān)控和預(yù)防性維護(hù)設(shè)備維修與升級(jí)備件和附件產(chǎn)品培訓(xùn)和建議可提高性能和效率的升級(jí)物流管理，可簡(jiǎn)化供應(yīng)鏈緊急熱線和服務(wù)支持-包括正常工作時(shí)間外的支持服務(wù)。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開(kāi)發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進(jìn)行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動(dòng)的清潔真空對(duì)于確保系統(tǒng)的精密性 和長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實(shí)現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風(fēng)險(xiǎn)并延長(zhǎng) 維修間隔。技術(shù)數(shù)據(jù)GV80GV160GV250GV400GV600構(gòu)造3爪 1桿2爪 1桿3爪式3爪式3爪 1桿排量（工作容積）91。目前開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品通過(guò)將控制器集成到 泵本身中來(lái)降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

適用于研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)我們提供豐富多樣的真空產(chǎn)品， 以應(yīng)對(duì)當(dāng)今研發(fā)實(shí)驗(yàn)室所面臨的種種挑戰(zhàn)。 通過(guò)與各主要科學(xué)儀器制造商、大學(xué)院校和主要研究機(jī)構(gòu)的 通力合作，我們能夠深入了解研究過(guò)程以及真空技術(shù) 所發(fā)揮的作用。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。我們專注于真空領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)展，并 投資于研發(fā)，因此能夠開(kāi)發(fā)滿足您的特定應(yīng)用 要求的產(chǎn)品。 單一供應(yīng)商：

廣泛的產(chǎn)品組合齊聚一堂基于技術(shù)的解決方案：

從 UHV（超高真空）到大氣壓安心：

經(jīng)驗(yàn)豐富，可幫助您選擇解決方案

化學(xué)氣相沉淀化學(xué)氣相沉淀 (CVD) 系統(tǒng)具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。制程 還以不同的壓力和流量狀態(tài)運(yùn)行，其中的許多狀態(tài) 都使用含氟的干燥清潔制程。EdwardsE2M80油封式旋片真空泵愛(ài)德華真空泵Edwards真空泵旋片泵油回轉(zhuǎn)高真空泵愛(ài)德華E2M80油封式旋片真空泵Edwards真空泵。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應(yīng)用工程師之一來(lái)選擇適當(dāng)?shù)谋?和氣體減排系統(tǒng)以便大程度地延長(zhǎng)我們產(chǎn)品的維修間隔并 延長(zhǎng)您制程的正常運(yùn)行時(shí)間。

干泵選擇

CVD 制程通常需要通過(guò)選擇適當(dāng)?shù)?干泵產(chǎn)品來(lái)克服四個(gè)特定挑戰(zhàn)。這些挑戰(zhàn)是：

粉末

許多制程會(huì)產(chǎn)生 大量粉末副產(chǎn)品。需要將真空泵設(shè)計(jì)成 能夠處理這些粉末而不被卡住。EDWARDE2M80愛(ài)德華真空泵維修惠州市明勝真空設(shè)備有限公司www。在某些情況下，粉末實(shí)際上可能 很粘或需要高溫運(yùn)行才能確保粉末中夾帶的其他 副產(chǎn)品不在泵內(nèi)部冷凝并卡住泵機(jī)構(gòu)。 對(duì)于幾乎所有產(chǎn)生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機(jī)的泵，以確保泵在應(yīng)力下保持 旋轉(zhuǎn)。

冷凝

半導(dǎo)體 制程的某些副產(chǎn)品含有氣體，當(dāng)氣體分壓 增加或與冷表面接觸時(shí)，這些氣體會(huì)從氣 相變?yōu)楣滔?。在泵送這些副產(chǎn)品時(shí)， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。

腐蝕

有些制程 需要泵送鹵化物。尤其是需要含氟的清潔制程來(lái) 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會(huì)侵蝕泵的內(nèi)表面。Edward真空泵油概述：提供一系列新型油：Ultragrade?15、19、20和70，均采用制程生產(chǎn)。如果制程主要使用 可能對(duì)泵造成腐蝕的化學(xué)品，您需要確?？梢?將泵溫度設(shè)置為一個(gè)較低值以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)。我們的泵設(shè)計(jì) 具有可選的溫度設(shè)和高旋轉(zhuǎn) 速度以降低腐蝕風(fēng)險(xiǎn)并降低泵中不可避免 發(fā)生的總體材料損失速率。對(duì)于某些 CVD 制程，需要在溫度設(shè)上 達(dá)到平衡，以確保避免任何冷凝問(wèn)題， 同時(shí)不使腐蝕速度過(guò)高。