影響無塵室的氣流因素很多，如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。發(fā)菌量工作人員產生的污染1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當的氣流分流，此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

     在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應在過程中嚴格控制微粒子的數量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。

　 無塵室內的浮游微粒子濃度，使用的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

　　無塵室內防止微粒子污染基本原則：

      排除/除去

　　在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。防靜電垂簾：四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），防靜電效果好、透明度高、網格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。