凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

過(guò)濾器安裝前必須對(duì)潔凈房間和凈化空調(diào)系統(tǒng)清掃、擦洗，達(dá)到清潔要求后，開(kāi)啟凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)試運(yùn)行12小時(shí)以上，再次清掃，擦洗潔凈室，立即安裝過(guò)濾器。

 過(guò)濾器安裝前，應(yīng)在安裝現(xiàn)場(chǎng)拆開(kāi)包裝進(jìn)行外觀檢查，內(nèi)容包括紙、濾密封膠、框架、幾何尺寸及光潔度等是否符合設(shè)計(jì)要求，然后進(jìn)行檢漏，檢查和檢漏合格后應(yīng)立即安裝。不合格產(chǎn)品不得安裝。

水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖

冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè).

一次側(cè)冰水水溫7-12 度,供給空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤(pán)管,二次側(cè)冰水12-17度供給干盤(pán)管系統(tǒng).一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理

干盤(pán)管:不結(jié)露的盤(pán)管,因凈化車間溫度在22 度,其溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進(jìn)入凈化車間,所以進(jìn)干盤(pán)管的冰水溫度在12-14 度.

4、控制系統(tǒng)(DDC)溫度:干盤(pán)管系統(tǒng)控制

濕度:空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過(guò)感測(cè)的信號(hào),控制三通閥開(kāi)度來(lái)調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤(pán)管進(jìn)水量。

正壓:空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測(cè)的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。

國(guó)內(nèi)現(xiàn)有防排煙模式分析國(guó)內(nèi)目前現(xiàn)有之凈化車間煙控模式共有四種。其中，煙控設(shè)計(jì)原理，就是利用在凈化車間下層回風(fēng)區(qū)的一般排氣風(fēng)管，在其上安裝閘門(mén)，平時(shí)此閘門(mén)為關(guān)閉狀態(tài)，以維持一般排氣的運(yùn)作，若遇上凈化車間或凈化車間下層回風(fēng)區(qū)發(fā)生火災(zāi)時(shí)，則打開(kāi)閘門(mén)以進(jìn)行排煙。此設(shè)計(jì)必須有兩個(gè)假設(shè)成立才能發(fā)揮其功效，假設(shè)為：若火災(zāi)發(fā)生于凈化車間中，則凈化車間上方的FFU 下吹垂直層流速度必須大過(guò)火災(zāi)向上升的速度，才能壓制凈化車間火災(zāi)產(chǎn)生的，將其導(dǎo)引向下至下層回風(fēng)區(qū)中，然后經(jīng)由排氣風(fēng)管打開(kāi)的閘門(mén)抽走。