Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護材料，而且也能作為結構層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時就完全沒有，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統(tǒng)中，除了作電介質材料外，還用作微型傳動機構和微型閥門的結構材料和防護材料。

派瑞林parylene涂層在領域的特性

派瑞林涂層，不僅電性能，防護性能好，而且生物相溶性也好，它已通過美國FDA論證，滿足美國藥典生物材料VI類標準，被列為是一種可以在體內(nèi)長期植入使用的生物材料。 派瑞林parylene涂層在領域的特性：可以抗酸堿腐蝕，可以抗溶解（在普通的溶劑中不會被溶解），抗凍性能強（低至-200℃），具有的屏障效果（低氣體滲透性），可靠性強，具有極高的絕緣強度，采用Parylene進行涂層，可得到均勻一致，透明且極薄的膜層，能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊、裂縫，經(jīng)濟清潔、工序簡單、速度快、批量處理能力強等

派瑞林涂層材料與派瑞林鍍膜加工有哪些優(yōu)勢？

      派瑞林它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱"無孔不入"可深入裂縫里和內(nèi)表面，被業(yè)內(nèi)稱為當今世界的防潮、防霉（零級）、防腐、防鹽霧的特殊防護涂層。派瑞林涂層材料與派瑞林鍍膜加工優(yōu)勢就是能夠保護橡膠/硅樹脂產(chǎn)品免受油、污垢和污染物的影響，提高潤滑性。

      東莞菱威納米科技有限公司是一家技術先于的【派瑞林】鍍膜工程解決方案商，專注于【parylene派瑞林】納米鍍膜加工和技術服務。

        美國化學家Michael Szwarc在實驗室合成了parylene薄膜，18年后的1965年科學家William F. Gorham發(fā)明了化學氣相沉積合成parylene膜的方法，并通過商業(yè)化parylene沉積設備使parylene膜獲得了實用價值，從此Parylene開始蓬勃發(fā)展起來。

        Parylene的原理是用獨  特的真空氣相沉積工藝（CVD技術）制備，由活性小分子在基材表面"生長"出完全敷形的聚合物薄膜涂層，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，號稱"無孔不入"可深入裂縫里和內(nèi)表面。這個家庭中基本的成員稱作Parylene,即聚對二，是一種完全線性的高度結晶結構的材料。