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Edwards真空分子泵選型的行業(yè)須知「多圖」

發(fā)布時間:2020-11-16 12:49  

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廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設備研制、生產、銷售、工程安裝及售后維修服務于一體的綜合性企業(yè),由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā),真空設備技術研發(fā),維修工程師,工程師組成的一支技術實力雄厚,充滿活力的高素質團隊。

廣州潽拓光電——出售Edwards-8愛德華抽真空泵

特點

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速;

(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速;

(3)泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;

(4)泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

(5)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。






(2)泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過一對齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。5bar表壓/7psig蒸汽的最da進氣口壓力30mbar/23torr最水蒸汽抽速0。

這種傳動方式的zui大缺點是:

a.主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調整也不便;

b.整體結構不勻稱,泵的重xin偏向電動機和齒輪箱一側


  廣州潽拓光電科技有限公司主要從事機電自動化,光電存儲媒體,半導體,太陽能電池板等真空鍍膜設備維修,銷售,設計,開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),承接等,是leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian)等一線品牌分子泵專業(yè)維修廠商。其步驟為,1、切斷電源,將真空泵從真空系統(tǒng)上卸下,2、用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來,以免污染環(huán)境。


Edwards EXT406PX 復合渦輪分子泵

性能特點

真空系統(tǒng)簡單

* 可以選用較小的前級泵。

* 降低真空系統(tǒng)體積與功耗。

* 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負載可達2E-3 。

* 前級壓力為17mbar時,還可維持正常轉速。

* 也可使用用戶自己的24V DC電源。




技術數(shù)據

入口法蘭 DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

壓縮比

N2 >1 x 10E11

He 1 x 10E6

H2 5 x 10E4

出口法蘭(前級泵口) DN25NW

前級泵(推薦) XDS10或RV12(或其它更小的,依應用而定)

放氣口 1/8 inch BSP

吹掃凈化口 1/8 inch BSP




廣州潽拓—{精}愛德華EDWARDS RV8真空泵



真空泵安裝指導

1、泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養(yǎng)。

2、泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運轉平穩(wěn),振動小。

3、泵與系統(tǒng)的連接管道應密封可靠,對小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時應清除管道中焊渣,嚴禁焊渣進入泵腔。)

4、在連接管路中,用戶可在泵進氣口上方安裝閥門及真空計,隨時可檢查泵的極限壓力。

6、泵通電試運轉時,須取下電機皮帶,確認泵轉向符合規(guī)定方向方可投入使用,以防泵反轉噴油。(轉向按防護罩指示方向)

7、對于有冷卻水的泵,按規(guī)定接通冷卻水。

8、如泵口安裝電磁閥時,閥與泵應同時動作。











潽拓——Edwards真空分子泵選型,分子泵

Edwards NEXT240D英國愛德華分子泵維修

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Edwards NEXT240D/NEXT240T愛德華渦輪分子泵對應的控制器:Edwards  TIC200