氦質譜檢漏儀的主要及時指標

科儀創(chuàng)新是專業(yè)生產氦質譜檢漏儀的廠家，專業(yè)用于電廠檢漏。關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家來分享一下氦質譜檢漏儀的主要及時指標。

1. 較小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s

2. 漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s

3. 啟動時間：≤5min

4. 響應時間：≤1s

5. 檢漏口的較高壓力：1500Pa

6. 電源要求：220v，50Hz，單相，10A

7. 工作環(huán)境：5-35℃

8. 相對濕度：≤80%

9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）

10. 重量：64kg

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氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發(fā)現，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發(fā)展。熱管技術目前廣泛應用于計算機、各類電器等設備散熱，常見的形狀有圓管狀，板塊狀(VC單體)等。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。氦質譜檢漏儀氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。按照真空系統(tǒng)的不同結構，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦質譜檢漏儀的特點

北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司（簡稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊資金500萬。是國內新興的一家專業(yè)從事真空領域的高新技術企業(yè)。

1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；

2.檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.不會受到主觀因素判斷的影響；

4.檢測的數據精準；

5.自動生成數據保存，可追溯數據來源。

今天和大家分享的是真空箱氦檢漏系統(tǒng)特征及優(yōu)點，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢！

氦質譜檢漏儀的結構和工作原理

　　氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計，其基本原理是根據離子在磁場中運動時，不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當P1降至20 Pa 時，入口閥2 關閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

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