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渦輪分子泵的轉子葉片具有特定的形狀，在它以20000~30000r/min的高速旋轉的同時，葉片將動量傳給氣體分子。葉片高速旋轉，其周邊的線速度一般200~300m/s，相當于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空，渦輪分子泵中裝有多級。在分子流區(qū)域內，氣體分子與高速轉到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運動方向上，產生定向流動而被排出泵外，從而達到抽氣的目的。上級葉片輸送過來的氣體分子又會收到下級葉片的作用繼續(xù)被壓縮到更下級。因此，渦輪分子泵的的一個特點是對一般氣體的抽出極為有效。例如對于氮氣，其壓縮比可以達到109 但是渦輪分子泵抽除分子質量較小的氣體能力較差，例如氫氣，其壓縮比僅有103 。

新設計了獨立和一體式控制器，還開發(fā)了全新的智能控制軟件。新的控制軟件使用智能算法根據氣體負載的變化和實時溫度，自動調整泵的功率，并且為三種典型氣體分別做了專有的控制曲線。例如對于氮氣，其壓縮比可以達到109但是渦輪分子泵抽除分子質量較小的氣體能力較差，例如氫氣，其壓縮比僅有103?？刂破餍略黾拥闹鲃觿x車功能可在不破空的情況下快速停機，節(jié)省工藝時間并盡可能的縮短分子泵在共振區(qū)停留的時間，延長了軸承壽命。

軸封發(fā)熱填料壓得太緊或磨擦

處理方法：放松填料，檢查水封管；

水封圈與水封管錯位

處理方法：重新檢查對準；

沖洗、冷卻不良

處理方法：檢查沖洗冷卻循環(huán)管；

機械密封有故障

處理方法：檢查機械密封。

正常使用下，為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形

　　原因：過熱，負載大

　　解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)

分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？

　　原因：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

　　解決方式：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

軟啟動器開關電源在什么情況會導致程序流程遺失或是紊亂?

答：①短路②強影響③髙壓點火④覺得破譯。安捷倫分子泵維修中心

分子泵噪聲大怎樣定義?是不是有達標規(guī)范，多少錢?

答:低于72db達標，噪聲的尺寸不大好定義，必須專用儀器和特殊的接口測試。安捷倫分子泵維修中心