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發(fā)布時間:2020-09-07 08:06  

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工作原理

片機械泵的結構如圖一所示,主要由圓柱空腔定子、偏心轉子、旋片、彈簧、頂蓋和排氣閥等零件組成。偏心轉子的頂端始終保持與泵體定子內腔接觸,當偏心轉子旋轉時,始終沿定子的內壁滑動。轉子上開有兩個滑槽,分別安裝一個旋片,中間有一個彈簧,當旋片隨轉子旋轉時,借助彈簧張力和離心力,使兩旋片緊貼在定子內壁滑動。整個空腔放在油箱內。兩個旋片把轉子、定子內腔和定蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三個部分,分別叫做吸氣腔、壓縮腔和排氣腔。當轉子按圖示方向旋轉時,與進氣口相通的空間A的容積不斷地增大,A空間的壓強不斷地降低,當A空間內的壓強低于被抽容器內的壓強,根據(jù)氣體壓強平衡的原理,被抽的


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盤式牽引級是在平板圓盤平面上按一定規(guī)律開出數(shù)條型線溝槽,然后將數(shù)塊圓盤串接起來構成,型線有阿基米德螺線、對數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時靠高速轉動的圓盤對氣體分子進行“拖動”,使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動,從而達到抽氣目的。筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽,如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞,提高泵的抽氣效果。在設計制造中,可以通過改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來達到較理想的抽氣效果。


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性能參數(shù)

通常擴散泵的性能是以極限真空、反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。1.極限真空如果對一般油擴散泵的結構進行改進,如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,改進噴嘴角度設計,加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴散泵性能大大改善,極限真空可達到更低的壓強。油擴散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa,起始壓力正好是機械泵的極限壓力,因此,油擴散泵通常要利用機械泵作為前級泵,將真空度抽到10^-1Pa后才能開始工作。


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一般的泵(水泵、小油泵)可以用平尺或塞尺進行粗測,但是對大多數(shù)設備都需要精測,用百分表進行測量。一般機泵的水平度已找好,以機泵的對輪為基準,測定與調整電機對輪,來保證電機與機泵兩軸對中。

注:a1、a2、a3、a4表示徑向間隙,S1、S2、S3、S4表示軸向間隙測量時先測出百分表在0o時的徑向間隙a1和軸向間隙S1,然后分別測出90o、180o、270o的徑向與軸向間隙,并分別記錄于上圖所示的圓內與圓外。測量回到0o時,必須與原始讀數(shù)一致,否則要查找原因,一般由軸竄動或地腳螺栓松動所致。后測量數(shù)據(jù)還須符合以下條件,才表示計算正確。