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發(fā)布時(shí)間:2021-09-07 14:16  
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石墨舟的存放:石墨舟應(yīng)存放在干燥清洗的環(huán)境中。由于石墨本身的空隙結(jié)構(gòu)而使其具有一定的吸附性,潮濕或污染的環(huán)境會(huì)使得清洗烘干后的石墨舟容易再次污染或受潮。石墨舟其實(shí)就是石墨模具。石墨模具本身是一種載體,石墨舟的存放:石墨舟應(yīng)存放在干燥清洗的環(huán)境中。由于石墨本身的空隙結(jié)構(gòu)而使其具有一定的吸附性,潮濕或污染的環(huán)境會(huì)使石墨舟污染或受潮。PECVD石墨舟設(shè)計(jì)
自然界中純凈的石墨是沒有的,石墨舟廠家,其中往往含有Si02、A1203、Fe0、CaO、P2O5、Cu0等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)常以石英、黃鐵礦、碳酸鹽等礦物形式出現(xiàn)。此外,還有水、瀝青、CO2、H2、CH4、N2等氣體部分。因此對(duì)石墨的分析,除測(cè)定固定碳含量外,還必須同時(shí)測(cè)定揮發(fā)分和灰分的含量。石墨舟是正負(fù)間隔連接的,可以等效看成是多個(gè)電容器的并聯(lián),那么舟片正對(duì)面積和舟片間距的改變就會(huì)導(dǎo)致電容器容抗的變化,導(dǎo)致鍍膜的場(chǎng)強(qiáng)變化。建議你增加壓力,一般的效果是中間鍍膜異常區(qū)域的面積會(huì)越來越小,然后適當(dāng)改變氣流比例(注意是氣流比例,SIH4在特氣中的比例較為重要),石墨舟,同時(shí)適當(dāng)?shù)缺壤黾託饬骺偭?!為了能有效增加?chǎng)強(qiáng)強(qiáng)度,功率也需要增加!PECVD石墨舟設(shè)計(jì)