半導體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為“清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實上，半導體生產(chǎn)過程中使用了大量有機和無機物，這些溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放，對環(huán)境危害較為嚴重，如不加以控制，將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放風量大、濃度低和成分復雜的特點，使用其它的處理技術(shù)難以達到令人滿意的處理效率。比較適用的是吸附——催化燃燒法，目前一些大型半導體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)。沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒設(shè)備大風量、低濃度的揮發(fā)性有機廢氣（VOCs）經(jīng)過過濾器過濾后，進入沸石分子篩被吸附、濃縮，被吸附凈化后的干凈空氣通過煙囪排入大氣。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制

該工藝適用于中低濃度，中小風量的有機廢氣治理，是目前國內(nèi)治理“三苯”有機廢氣成熟的使用方法。對于本方案量不大、較低濃度的混合有機廢氣比較適合選用該工藝。(2)燃燒法本法亦稱為熱氧化法、熱力燃燒法，主要用于有機物高濃度廢氣的凈化。對于自身不能燃燒的中低濃度尾氣，通常需助燃劑或加熱，能耗大，運行成本比催化燃燒法高10倍以上;運行技術(shù)要求高，不易控制與掌握。此法在國內(nèi)基本上未獲推廣，僅有少數(shù)廠家引進國外治理設(shè)備運用于較高濃度和溫度的制罐印鐵業(yè)廢氣治理中，但終因能耗大及運行不穩(wěn)定，難以正常運轉(zhuǎn)。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制

它的響應(yīng)非?？?，設(shè)備啟動和停止的速度非?？欤斈闶褂盟鼤r，它就會啟動。靈活性:不同粒徑捕集油霧顆粒，從根本上解決了復雜排氣部件無法逐一凈化的問題。凈化機組可靈活組合，并可根據(jù)不同凈化能力和凈化率要求調(diào)整機組數(shù)量。方便:凈水器單元采用獨立抽屜式結(jié)構(gòu)，安裝維護方便，特別便于清洗。電源控制系統(tǒng)可自動調(diào)節(jié)電場強度，使凈化設(shè)備長期運行后保持較高的凈化率。

一：熱力燃燒法原理:在高溫下，惡臭物質(zhì)與燃氣充分混合，實現(xiàn)完全燃燒。適用范圍:適用于處理高濃度和少量的可燃氣體;優(yōu)點:異味物質(zhì)完全氧化分解

低溫時，大風量的有機廢氣通過沸石輪，VOC分子吸附在沸石輪表面。通過沸石輪的廢氣可直接排放。沸石輪與大量的VOC吸附進入高溫解吸區(qū),和揮發(fā)性有機化合物分子在沸石輪眠的高溫廢氣與少量的空氣,形成高濃度的廢氣,這是發(fā)送到后端廢氣催化氧化體系的催化氧化分解成二氧化碳和水。凈化后的廢氣可直接排放。沸石輪吸附濃度催化氧化技術(shù)一般適用于有機物濃度在~1500mg/m3范圍內(nèi)的廢氣。沸石輪濃縮器的吸附效率90%。沸石輪吸附濃縮催化氧化技術(shù):沸石輪在處理大風量、低濃度有機廢氣方面具有明顯優(yōu)勢，但對廢氣成分要求較高。