在各種檢漏應(yīng)用場(chǎng)合中，氫氣檢漏法的出現(xiàn)為您帶來(lái)了更大的性能和效率的改善提高機(jī)會(huì)。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過(guò)程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置。氫氮混和氣檢漏法已在國(guó)內(nèi)外廣泛應(yīng)用于制冷、空調(diào)、汽車零部件、發(fā)動(dòng)機(jī)、變速箱、減速機(jī)、閥門(mén)、藥品包裝、飛機(jī)油箱油路及其他密封件或管路檢漏。氫氣檢漏法檢測(cè)靈敏度高、節(jié)約成本、操作簡(jiǎn)便，將是以后檢漏技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。

真空設(shè)備檢漏

檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測(cè)通過(guò)漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達(dá)到檢測(cè)的目的。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過(guò)程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運(yùn)轉(zhuǎn)使用過(guò)程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。

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聽(tīng)音法

氣體從小孔中噴出時(shí)，會(huì)發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時(shí)發(fā)出的聲音判斷有無(wú)泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽(tīng)清。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離，在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。使用聽(tīng)診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽(tīng)清泄漏聲音，但有時(shí)與泄漏無(wú)關(guān)的聲音（例如電機(jī)的聲音）也會(huì)混雜進(jìn)來(lái)，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時(shí)其它聲音也同時(shí)放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測(cè)壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽(tīng)出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)。使用聽(tīng)診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點(diǎn)。如單憑耳朵聽(tīng)，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點(diǎn)，即發(fā)聲地點(diǎn)。由于檢測(cè)環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測(cè)法并用。

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如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣，通常采用靜態(tài)升壓法，即把容器抽到一定壓強(qiáng)后，關(guān)閉閥門(mén)將被抽容器與泵隔開(kāi)，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強(qiáng)將隨時(shí)間而上升。基于其在處理環(huán)境中背景氫氣濃度方面所擁有的獨(dú)特技術(shù)，氫氣檢漏儀具有非?？煽康拿舾卸群蜏y(cè)量指示。用真空計(jì)每隔一定時(shí)間計(jì)量一次容器中的壓強(qiáng)，可得出壓強(qiáng)/時(shí)間曲線。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同

1.直線A

壓強(qiáng)不隨時(shí)間變化，說(shuō)明系統(tǒng)即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直線B

壓強(qiáng)期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說(shuō)明容器沒(méi)有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因?yàn)榉艢馑俾孰S壓強(qiáng)的升高和時(shí)間的延長(zhǎng)而降低，故曲線漸趨向于平衡。

3.直線C

是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說(shuō)明只有漏氣而沒(méi)有放氣。

4.曲線D

開(kāi)始?jí)簭?qiáng)上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說(shuō)明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況，則判定系統(tǒng)有漏氣。