氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法

氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標(biāo)，通過實(shí)驗(yàn)，總結(jié)通過氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)其漏率校準(zhǔn)的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀原理:

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn)，如果不能單獨(dú)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn)，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準(zhǔn)方法。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)展

（1）便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機(jī)控制，菜單的選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對(duì)的方法就可以獲得漏孔對(duì)氦泄漏量。檢漏儀在使用過程中，往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度，若對(duì)其置之不理還會(huì)危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。

今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的資料，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢，科創(chuàng)真空竭誠為您服務(wù)！

氦質(zhì)譜檢漏儀

噴氦法

噴氦法是，的檢漏方法。由于盒內(nèi)氦濃度較高，相對(duì)檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。檢漏時(shí)，用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴槍向懷疑有漏泄的部位噴氦氣，如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置，則裝置內(nèi)的氦分壓就會(huì)上升，氦檢漏儀上就會(huì)顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少，超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。

噴氦法檢漏中應(yīng)該注意以下幾個(gè)問題：

1、實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低，一是由于噴槍所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數(shù)量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴槍噴出的氣流的方向不可能完全對(duì)準(zhǔn)漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。

2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由*近檢漏儀處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。

3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去漏孔。

4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的的漏孔點(diǎn)時(shí)，應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住，在對(duì)另一點(diǎn)用細(xì)的噴槍進(jìn)行噴氦。

5、當(dāng)噴槍噴在某一點(diǎn)時(shí)，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。

6、檢出漏孔后，還應(yīng)再做幾次復(fù)檢。

7、檢漏場(chǎng)地要有良好的通風(fēng)條件，但也不能太大，不應(yīng)影響噴槍噴出的氦氣氣流的方向。