氦質(zhì)譜檢漏儀概述

氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)領(lǐng)域名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用須知

1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完使用須知成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。

2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實性。

3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上， 由近而遠的順序進行。

4.檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進入質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸槍，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用條件

氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是氦質(zhì)譜檢漏儀的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30cm的通風間距。

放置好氦質(zhì)譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用專用的針對機械泵型號的油。

背壓法氦質(zhì)譜檢漏

采用背壓法檢漏時，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效標準漏率。