DZS800型電子束鍍膜設備

主要用途：　　

用于制備導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜等，批量生產(chǎn)型。

系統(tǒng)組成:　　

系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、計算機系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成?！　?

技術指標：　　

極限真空度：≤6.7×10 Pa　　恢復真空時間：從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min　　

系統(tǒng)漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；　　

真空室：真空室1200x9000 x800mm采用U型箱體前開門，后置抽氣系統(tǒng)　　

e型電子槍：陽極電壓：10kv(2套)　　坩堝：水冷式坩堝，24穴設計，每個容量11ml　　

功率：0-10KW可調(diào)　　電阻蒸發(fā)源(可選)　　

基片尺寸：可放置4″基片一次更換20個樣品　　

樣品臺：基片可連續(xù)回轉，轉速5-60轉/分基片與蒸發(fā)源之間距離350mm加熱溫度 400°C±1°C　　

氣路系統(tǒng)：質(zhì)量流量控制器1路　　

石英晶振膜厚控制儀：監(jiān)測膜厚顯示范圍：0-99μ9999?

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電子束蒸發(fā)鍍膜機的系統(tǒng)裝置介紹

1、系統(tǒng)自動監(jiān)控和保護功能強，包括斷水報警、相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統(tǒng)檢測與保護等。

2、分子篩吸附裝置，避免機械泵返油造成膜層污染，提高薄膜純凈度。

3、膜厚監(jiān)測及控制系統(tǒng)，可在線監(jiān)測及控制膜層厚度，膜厚儀與基片擋板聯(lián)動，形成閉環(huán)控制。采用晶振膜厚儀

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電子束鍍膜的應用

作為制備與加工難熔金屬的核心技術之一，電子束技術已在高溫合金的成型制造與精煉、高溫合金的焊接、表面改性以及涂層制備等領域得到了廣泛應用，并將不斷涉足航空航天以及核工業(yè)等各個領域中。此外，隨著對高溫合金使用性能要求的不斷提高以及新型高溫合金的開發(fā)，電子束技術在高溫合金中的應用也面臨著新的挑戰(zhàn)，因此需要不斷開發(fā)電子束技術的新方法與新工藝，如將計算模擬的方法與電子束技術相結合能有效指導材料的制備與加工，此外，電子束自動化技術的應用可實現(xiàn)對材料制備與加工過程的準確控制，在降低勞動強度的同時提高材料的使用性能。電子束技術與高溫合金的發(fā)展相互促進，電子束技術在高溫合金中的應用也必然朝著較高的效率、低成本、低能耗的方向發(fā)展。★可沉積金屬（Au,Ag,Al,Ti,Pt,Mo,Fe,Cr,Ni等）、化合物（ITO等）及有機物材料（進口電子槍）。此外，電子束技術的應用在大幅度提高高溫合金的使用性能的同時，使得超高熔點合金的制備與加工成為可能。電子束技術與高溫合金的開發(fā)緊密結合，不斷發(fā)展，在高溫合金中的應用領域?qū)⒉粩嗤貙?，應用前景值得期待?

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