羅茨真空泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。羅茨真空泵因?yàn)檗D(zhuǎn)子在工作過程中無潤滑油參與，是無法通過潤滑油帶走工作時(shí)產(chǎn)生的熱量。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從吸氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然提高。

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羅茨真空泵又被稱為機(jī)械增壓泵，它是一種容積式真空泵，在羅茨真空泵的排氣口下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直接排大氣。

羅茨真空泵因?yàn)檗D(zhuǎn)子在工作過程中無潤滑油參與，是無法通過潤滑油帶走工作時(shí)產(chǎn)生的熱量。羅茨泵工程，當(dāng)羅茨泵被泵送時(shí)，兩個(gè)轉(zhuǎn)子由齒輪比為1的一對齒輪驅(qū)動，用于彼此同步旋轉(zhuǎn)。因?yàn)闊o內(nèi)壓縮過程，排氣溫度非常高，若冷卻效果不好，會造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，影響抽氣的效果。所以羅茨真空泵殼體采用雙層管壁中空結(jié)構(gòu)，稱為冷卻套，其里面內(nèi)置冷卻液，是羅茨真空泵的主要散熱通道。水冷是常見的方法，冷卻套中通冷卻水，可以達(dá)到羅茨真空泵冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。同時(shí)可以在轉(zhuǎn)子內(nèi)部通水冷卻，增加轉(zhuǎn)子壽命，并達(dá)到很好的冷卻效果。但該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，需要一定的技術(shù)及加工水平支持。

羅茨真空泵噪音低、風(fēng)機(jī)進(jìn)、排氣口選用螺旋形狀，使進(jìn)、排風(fēng)進(jìn)程按螺旋線的方向循序切入，避免了老式羅茨鼓風(fēng)機(jī)排風(fēng)時(shí)瞬間迸發(fā)的脈動噪音和振蕩。啟動快，耗功少，工作維護(hù)費(fèi)用低，抽速大、功率高，對被抽氣體中所含的少數(shù)水蒸汽和塵埃不靈敏功能安穩(wěn)。羅茨真空泵的功能就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使它達(dá)到大要求的真空度。羅茨鼓風(fēng)機(jī)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子、機(jī)殼、墻板、軸等要害零件，均選用先進(jìn)的控加工設(shè)備，使零部件的互換性進(jìn)步。振蕩小。雖然轉(zhuǎn)子通過精細(xì)加工，已成平衡狀態(tài)，但仍選用高精度的動平衡設(shè)備進(jìn)行平衡。絕熱功率和容積功率高，因此節(jié)能。羅茨風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)子選用先進(jìn)的復(fù)合曲線，嚙合愈加合理，并且增大了容積功率。選用高精度、高硬度的同步齒輪，不只使羅茨真空泵的壽數(shù)得到延長，還有用降低了噪音。