相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

影響無塵凈化工程潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大;(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設(shè)備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層。

  無塵車間工程的潔凈度不合格的原因，凈化空調(diào)系統(tǒng)沒有清掃干凈，在施工過程中，整個凈化空調(diào)系統(tǒng)，尤其是送、回風(fēng)管道都不是一次完成，施工人員和工環(huán)境都會造成通風(fēng)管道和過濾器的污染。如不清潔干凈，將直接影響檢測結(jié)果。改進(jìn)措施是，邊施工邊清潔，面前yi段管道安裝完成che底清潔后，可用塑料薄膜密封，避免環(huán)境等造成的污染。 

  無塵車間工程的潔凈度不合格的原因

1.潔凈廠房清涪不che底，毋庸置疑，潔凈廠房在檢測前必須he底清掃，才能進(jìn)行檢測。要求后的擦拭人員，身著潔凈工作服進(jìn)行清掃，以排除清掃人員人體造成的污染。清洗劑可以選用自來水、純水、有ji溶劑、中性洗滌劑等。有防靜電要求的，后用沾有防靜電液的抹布擦拭一遍。

2.送風(fēng)管或過濾器密封不好，這種現(xiàn)象是施工粗糙造成的，在驗(yàn)收時會表現(xiàn)出在同一系統(tǒng)中某個房間或局部不合格，改進(jìn)的方法是，送風(fēng)管采用漏光試驗(yàn)法檢漏，過濾器用粒子計(jì)數(shù)器對過濾器的斷面、封膠、安裝框架進(jìn)行掃描，找出泄露位置，精心密封。