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發(fā)布時間:2021-04-12 09:58  
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光學掩模板的應用
光掩膜用于芯片制造,主要是IC(集成電路)芯片,還應用于制作純平顯示器、薄膜磁頭以及PC板等。
光掩膜所起的作用類似于底片之于相片,光刻通過光掩膜在芯片上顯影。如果圖形通過掩膜版在芯片兩面多次顯影,這種方法就是熟稱的曝光,這個時候的掩膜也可稱為光罩。
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掩膜版:通俗點理解,相當于過去用膠片沖洗照片時的底片。底片如果精度不夠,是洗不出來照片的。光刻機施工前,要根據設計好的芯片電路圖制作掩膜板。掩膜板材質是石英玻璃,玻璃上有金屬鉻和感光膠。通過激光在金屬鉻上繪制電路圖。精度要求非常高。
透鏡:用透鏡的光學原理,將掩膜版上的電路圖按比例縮小,再用光源映射的硅片上。光在多次投射中會產生光學誤差。要控制這個誤差。精度要求很高。
就是測量臺移動的控制器,也是納米級精度,要求超高。
掩模板是根據放大了的原圖制備的帶有透明窗口的模板。光刻工藝需要一整套(幾塊多至十幾塊)相互間能套準的、具有特定幾何圖形的光復印掩蔽模版。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金屬鉻薄膜,通過類似照相制版的方法制備而成。具有微納圖形結構的掩模板通常使用電子束光刻機直接制備,其制作過程就是典型的光刻工藝過程,包括金屬各層沉積、涂膠、電子束光刻、顯影、鉻層腐蝕及去膠等過程。