光波超精密——閉式圓柱氣浮導軌廠家

大理石氣浮導軌對材料的要求

大理石氣浮導軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術,因此它具有軸/徑向跳動小、重復定位精度高、加載驅動力小、能在高轉速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:

1.導熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進而造成構件內部的溫度梯度,引起機器結構的扭轉和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產生過大的伸長縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

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4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強度,在①定的力量范圍內不易斷裂;

6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產生的測量機慣性力不會造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測量、超精密加工和半導體光刻等領域的重要應用,花崗石氣浮導軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.

氣浮導軌相對于普通滾動導軌有著如下的優(yōu)點：

(1)導軌面間是氣體潤滑，其摩擦系數(shù)(約為0.0005左右)，故驅動功率可大大降低；

(2)因系非接觸性摩擦，故導軌磨損，壽命長，能長期保持制造精度，減少了維修工作量；

(3)氣膜具有誤差均化作用，可提高導軌運動精度；

(4)氣膜厚度幾乎不受速度的影響，即使在極低速時也不會產生爬行，運動平穩(wěn)；

(5)幾乎不產生熱量，不會發(fā)生粘度變化，無需添加冷卻措施。

直線導軌常簡稱為導軌，它的作用是支承并引導運動部件沿給定軌跡和行程作直線往復運動。導軌由兩個相對運動的部件組成，一個部件固定在機架上，稱為定軌，另一個在定軌上移動，稱為動軌。

導軌多用于需要作直線往復運動的執(zhí)行器。導軌的運動性能在低速時要求平穩(wěn)、無爬行、定位準確，高速時要求慣量小、無超調或振蕩。導軌的精度、承載能力和壽命對系統(tǒng)的精度、承載能力和壽命有直接影響。

氣浮導軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預載荷型。

平面封閉型 重力平衡型 真空預載荷型 圓筒封閉型

(1)平面封閉型：在氣浮方向上設計一對方向相對的兩個氣膜，形成氣膜預加載。適用于高精度、高剛度、大負載的導軌。因為本項目需要高剛度、高精度的技術要求，所以選用平面封閉型

(2)重力平衡型：結構簡單，加工方便，但剛度低，用于負載變動較小的場合；

(3)真空預載荷型：用壓力氣體產生浮力，形成懸浮狀態(tài)，用真空發(fā)生裝置產生真空以提高剛度，由于真空的吸附作用，使得這種止推導軌具有雙向的剛度，配上x、y兩向驅動，可用單層結構，實現(xiàn)二維運動，即開始結構具有閉式特點，提高了工作臺的工藝性能；

（4)圓筒封閉型：該導軌結構簡單，但加工復雜，圓柱形導軌得圓柱度和溜板的間隙由機械加工決定，對加工工藝要求較高。而承載能力較小，剛度差，常用于輕載。