安裝質量不好將會使壓升率達不到技術要求，長期使用之后，真空爐的壓升率也會增大。當真空度壓升率惡化到一定程度后，處理零件的表面質量下降，加熱元件的使用壽命會明顯降低，這是需要對爐子檢漏，并排除漏氣原因。檢漏及排除漏氣因素的目的就是使漏氣率達到技術條件要求。1）由于存在漏孔產(chǎn)生的漏氣；2）由滲透產(chǎn)生的漏氣；滲透式指氣體不是通過固體中的漏孔方式漏氣的現(xiàn)象，而是氣體吸附在固體的高壓一側表面上，然后沿濃度梯度向固體低壓的一側擴散。在真空爐中的金屬、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以滲透氣體的。

熱量也會影響金屬的電阻。金屬越熱，電子散射越多，從而使金屬對電流的耐受性更高。加熱到一定溫度的金屬也會失去磁性。通過將溫度升高到626華氏度和2,012華氏度之間（取決于金屬），磁性將消失。在特定金屬中發(fā)生此溫度的溫度稱為居里溫度。

將金屬部件在大約零下190攝氏度的溫度下保持約一天。稍后對其進行加熱回火時，金屬零件的溫度會升高，達到約149攝氏度。這有助于降低在熱處理過程中形成馬氏體時可能引起的脆性。

真空滲碳比可控氣氛爐滲碳的產(chǎn)品質量好，對于要控制淬火變形的齒輪滲碳，在用可控氣氛爐滲碳后需要用淬火壓床進行邊淬火邊矯正，其質量有時還達不到技術要求，況且滲碳層的滲層和碳濃度分布均勻性較難得到保證，經(jīng)常會出現(xiàn)內(nèi)氧化現(xiàn)象，造成非馬氏體黑色組織的出現(xiàn)，生產(chǎn)率有時也會受到影響，所以對于質量要求較高的摩托車、汽車減速器、汽車發(fā)動機等部件內(nèi)的中小型齒輪及齒輪軸等工件的滲碳。