在金屬晶粒中可產生更均勻、更微小，且?guī)в懈竺芏鹊奈⑿〔牧辖M織；

由于有附加微碳化物粒子和更細密的晶格，故導致了更密集的分子結構，使材料內部微小的空洞被大大減少；

材料經超低溫處理后內部熱應力和機械應力大為降低，從而有效地減少了造成工具和刀具產生裂紋、崩刃的可能性。此外，由于刀具中的殘余應力影響切削刃吸收動能的能力，經過超低溫處理的刀具不僅具有較高的抗磨性，而且其自身的殘余應力的危害也比未經處理的刀具大大降低；

在被處理的硬質合金中，由于其電子動能的減少而使分子結構產生新的組合。

鋼的碳氮共滲：碳氮共滲是向鋼的表層同時滲入碳和氮的過程。習慣上碳氮共滲又稱為qing化，目前以中溫氣體碳氮共滲和低溫氣體碳氮共滲（即氣體軟氮化）應用較為廣泛。中溫氣體碳氮共滲的主要目的是提高鋼的硬度，耐磨性和疲勞強度。低溫氣體碳氮共滲以滲氮為主，其主要目的是提高鋼的耐磨性和抗咬合性。

調質處理：一般習慣將淬火加高溫回火相結合的熱處理稱為調質處理。調質處理廣泛應用于各種重要的結構零件，特別是那些在交變負荷下工作的連桿、螺栓、齒輪及軸類等。

隨著相關技術的不斷進步，不僅真空熱處理設備取得了較大的發(fā)展，與其相關的配套設施也取得了長足的進步。目前我國已經能夠生產各個種類的真空泵、真空閥、真空測量儀器等，甚至一些以前無法實現自主生產的配套產品也實現了自產(如爐內使用的由金屬和石墨材質制成的保溫層和發(fā)熱元件等)，并且其性能和質量已經接近或已達到了國外同類產品的水平。相關配套產業(yè)的快速發(fā)展有效地促進了我國真空熱處理水平的整體進步。

（1）難熔金屬的退火。鉬、鎢、鉭、鈷、釩、錯等金屬熔點高，易氧化，易被耐火材料污染，加工時強度和硬度高。如果其中含有氫、氧、氮等氣體，材料的延展性就會變差。為了將它們變成型材，它們必須在真空退火后軟化，然后進行壓制加工。

(2）軟磁合金退火。軟磁合金一般通過真空熔煉和真空軋制獲得，因為它在溫度、壓力、輻射和機械載荷的作用下必須具有穩(wěn)定的磁性，所以需要進行真空退火處理