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發(fā)布時(shí)間:2021-01-21 21:34  
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蝕刻曝光就是通過(guò)曝光制版、顯影后,將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除,在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液,達(dá)到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。
顯影是在硅片表面光刻膠中產(chǎn)生圖形的關(guān)鍵步驟。光刻膠上的可溶解區(qū)域被化學(xué)顯影劑溶解,將可見(jiàn)的島或者窗口圖形留在硅片表面。常見(jiàn)的顯影方法是旋轉(zhuǎn)、噴霧、浸潤(rùn),然后顯影。硅片用去離子水沖洗后甩干。
否則產(chǎn)品圖案就會(huì)出現(xiàn)歪斜現(xiàn)象,從而產(chǎn)生不良品,而菲林也要定期檢查,不能出現(xiàn)折疊現(xiàn)象,否則也會(huì)出現(xiàn)不良品。來(lái)料檢驗(yàn)當(dāng)接到客戶(hù)需要加工的工件時(shí),首先我們要經(jīng)過(guò)檢查,也就是我們目前IQC工序所要做的工作,把接到客戶(hù)的加工工件抹干凈,然后進(jìn)行仔細(xì)檢驗(yàn),把來(lái)料中存在的不良品剔除出來(lái),保證投入的產(chǎn)品是良品。你不來(lái)看看嗎?
應(yīng)該采用通用規(guī)則來(lái)對(duì)信號(hào)進(jìn)行自動(dòng)布線。通過(guò)設(shè)置限制條件和禁止布線區(qū)來(lái)限定給定信號(hào)所使用的層以及所用到的過(guò)孔數(shù)量,布線工具就能按照工程師的設(shè)計(jì)思想來(lái)自動(dòng)布線。如果對(duì)自動(dòng)布線工具所用的層和所布過(guò)孔的數(shù)量不加限制,自動(dòng)布線時(shí)將會(huì)使用到每一層,而且將會(huì)產(chǎn)生很多過(guò)孔。在設(shè)置好約束條件和應(yīng)用所創(chuàng)建的規(guī)則后,自動(dòng)布線將會(huì)達(dá)到與預(yù)期相近的結(jié)果,當(dāng)然可能還需要進(jìn)行一些整理工作,同時(shí)還需要確保其它信號(hào)和網(wǎng)絡(luò)布線的空間。在一部分設(shè)計(jì)完成以后,將其固定下來(lái),以防止受到后邊布線過(guò)程的影響。