電子束原理介紹

其實(shí)，增速器離人們的生活并不遠(yuǎn)。現(xiàn)代生活中已經(jīng)普及的電視、計(jì)算機(jī)顯示器所用的顯像管就是一臺(tái)小小的電子增速器。顯像管有玻璃密封外殼，內(nèi)部抽成真空。由一端的電子槍產(chǎn)生的電子束（強(qiáng)度受影像訊號(hào)控制）經(jīng)過聚焦線圈聚焦后在高壓電極的作用下加速向前運(yùn)動(dòng)。與此同時(shí)，電子束在偏轉(zhuǎn)電極的作用下，自上而下作水平方向的掃描。電子束焊原理一臺(tái)電子增速器，注入的電子能量為20GeV（1GeV=109eV，也就是10億電子伏特），相應(yīng)的電子速度為0。這樣，在顯像管另一端的熒光屏上就形成了明暗程度不同的亮點(diǎn)。

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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)產(chǎn)品介紹

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產(chǎn)品配置：

★樣片數(shù)量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）

★蒸發(fā)材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。

★蒸發(fā)腔體：高真空系統(tǒng)。

★蒸發(fā)不均勻性：≤±3%-±5％

★工件架：可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)

★加熱：常規(guī)加熱

★電子槍：E型，帶XY偏轉(zhuǎn)掃描

★電子槍坩堝：6穴，17cc

★膜厚監(jiān)控功能：石英晶控膜厚在線監(jiān)測(cè)與終點(diǎn)控制

★清洗功能：可選配離子源清洗

★器件一次成型復(fù)合實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)：通過復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，一次完成器件的多個(gè)工藝步驟

★檢測(cè)與控制光學(xué)特性的功能：可選配光控儀

★操作模式：全自動(dòng) 半自動(dòng)控制

電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)各部件介紹

1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度：室溫-150℃。（在10-4Pa時(shí)，真空室內(nèi)殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上，因此在該壓強(qiáng)下進(jìn)行蒸鍍，實(shí)際上相當(dāng)于在水蒸汽中制膜，為了減少水份，提高真空室溫，使水分解，是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法）。

2、電控柜：標(biāo)準(zhǔn)電控柜，組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制（分子泵、機(jī)械泵電源、擋板等）、數(shù)顯真空計(jì)等。柜底下配腳輪，方便移動(dòng)、定位。

3、手動(dòng)按鈕式操作，備留機(jī)電轉(zhuǎn)換及控制接口，方便實(shí)驗(yàn)記錄.

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電子束蒸鍍系統(tǒng)的特點(diǎn)

* 渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

* pocket電子槍

* 電子束源和基片遮板

* 性能好的開關(guān)電源，杰出的消弧性能

* 自動(dòng)Pocket索引以及可編程的掃描控制器

* 膜厚監(jiān)測(cè)，可設(shè)置目標(biāo)膜厚作為工藝終點(diǎn)條件

* 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，提供高均勻性

* 帶觀察視窗的腔門，便于放片/取片

* PC全自動(dòng)控制，具有高度的可重復(fù)性

* Labview軟件的計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制控

* 多級(jí)密碼保護(hù)的授權(quán)訪問設(shè)計(jì)

* EMO保護(hù)以及完全的安全聯(lián)鎖

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