半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為“清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)和無機(jī)物，這些溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重，如不加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。半導(dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放風(fēng)量大、濃度低和成分復(fù)雜的特點(diǎn)，使用其它的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。比較適用的是吸附——催化燃燒法，目前一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)。沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒設(shè)備大風(fēng)量、低濃度的揮發(fā)性有機(jī)廢氣（VOCs）經(jīng)過過濾器過濾后，進(jìn)入沸石分子篩被吸附、濃縮，被吸附凈化后的干凈空氣通過煙囪排入大氣。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制

該工藝適用于中低濃度，中小風(fēng)量的有機(jī)廢氣治理，是目前國(guó)內(nèi)治理“三苯”有機(jī)廢氣成熟的使用方法。對(duì)于本方案量不大、較低濃度的混合有機(jī)廢氣比較適合選用該工藝。(2)燃燒法本法亦稱為熱氧化法、熱力燃燒法，主要用于有機(jī)物高濃度廢氣的凈化。對(duì)于自身不能燃燒的中低濃度尾氣，通常需助燃劑或加熱，能耗大，運(yùn)行成本比催化燃燒法高10倍以上;運(yùn)行技術(shù)要求高，不易控制與掌握。此法在國(guó)內(nèi)基本上未獲推廣，僅有少數(shù)廠家引進(jìn)國(guó)外治理設(shè)備運(yùn)用于較高濃度和溫度的制罐印鐵業(yè)廢氣治理中，但終因能耗大及運(yùn)行不穩(wěn)定，難以正常運(yùn)轉(zhuǎn)。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制

印刷廠廢氣處理工藝流程圖印刷油墨廢氣工藝說明：有機(jī)廢氣發(fā)作于印刷、上膠涼干蒸騰進(jìn)程，液態(tài)漆油在氣壓效果下構(gòu)成蒸騰三苯等有機(jī)損害物，濃度較高，有機(jī)廢氣經(jīng)集氣罩收集，通過風(fēng)機(jī)引力進(jìn)入U(xiǎn)V光解催化廢氣組合設(shè)備，有機(jī)氣體進(jìn)入U(xiǎn)V光解催化高能UV紫外線光束及臭氧對(duì)惡臭氣體進(jìn)行協(xié)同分解氧化反應(yīng),使惡臭氣體物質(zhì)其降解化成低分子化合物、水和二氧化碳，然后進(jìn)入活性炭吸附器進(jìn)行吸附處理，終究通過排風(fēng)管外排風(fēng)管高空排放。該法凈化功率可達(dá)90％以上，大大改善了大氣環(huán)境。 次數(shù)用完API KEY 超過次數(shù)限制