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發(fā)布時(shí)間:2020-12-06 10:59  

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彩色抗蝕劑(RGB)的薄膜厚度測(cè)量[FE - 0003]

液晶顯示器的結(jié)構(gòu)通常如右圖所示。 CF在一個(gè)像素中具有RGB,并且它是非常精細(xì)的微小圖案。 在CF膜形成方法中,主流是采用應(yīng)用在玻璃的整個(gè)表面上涂覆基于顏料的彩色抗蝕劑,通過光刻對(duì)其進(jìn)行曝光和顯影,并且在每個(gè)RGB處僅留下圖案化的部分的工藝。 在這種情況下,如果彩色抗蝕劑的厚度不恒定,將導(dǎo)致圖案變形和作為濾色器導(dǎo)致顏色變化,因此管理膜厚度值很重要。




考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時(shí),將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。


 膜厚儀在電氣安全方面按照要求正常使用儀器,就不會(huì)對(duì)人造成任何危險(xiǎn)或損害。膜厚儀包含傳導(dǎo)線電壓的元件,它是按照準(zhǔn)則的安全條款設(shè)計(jì)的。必須遵循儀器安全條款和準(zhǔn)則有關(guān)儀器操作的規(guī)定!  電源連接為避免損壞儀器,供電電壓必須與膜厚儀銘牌上的電壓一致。儀器必須使用三相插頭連到一個(gè)已接地的插座上。


膜厚測(cè)試儀波譜校準(zhǔn)   不關(guān)機(jī)狀態(tài)下每日必做一次或每次關(guān)機(jī)3小時(shí)以上再次重開機(jī)必做,目的讓儀器進(jìn)行自我補(bǔ)償調(diào)整。首先點(diǎn)擊任務(wù)欄中的“波譜校準(zhǔn)”,然后將波譜校準(zhǔn)片放入儀器,將Cu-Ag合金部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測(cè)量(點(diǎn)擊Go鍵)。待膜厚測(cè)試儀器自動(dòng)完成每一步,紅色STOP鍵會(huì)轉(zhuǎn)變成綠色GO鍵后,將純Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,測(cè)量(點(diǎn)擊Go鍵),完成后出現(xiàn)“波譜校準(zhǔn)成功”字樣的對(duì)話框時(shí),點(diǎn)擊“確定”即可。