流量控制器的性能參數(shù)

流量控制器的特點(diǎn)是：當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口、出口壓差變化時(shí)，通過(guò)自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動(dòng)壓差

工作壓差范圍指的是當(dāng)流量控制器進(jìn)口、出口壓差變化在多大范圍時(shí)，能保持通過(guò)流量控制器的流量恒定不變。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定工作壓差范圍0.03－0.3MPa，A類產(chǎn)品工作壓差范圍達(dá)到0.03－0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設(shè)計(jì)。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量?jī)x表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計(jì)算單元等，僅有流量傳感器，組成簡(jiǎn)單，出現(xiàn)故障概率小。

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流量控制器

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來(lái)表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。為了保持兩個(gè)溫度傳感器的固定溫差需要電路對(duì)加熱答元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質(zhì)量有關(guān)，由此測(cè)量流專量。

使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?

部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源, 氣壓很低, 用普通MFC, 不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商特別聲明, 定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通?？梢远ㄖ乒ぷ鲏翰畹陀?.01MPa的MFC, 這時(shí)MFC的工作壓差范圍, 也會(huì)變小。

注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí), 不能讓汽化物在MFC中結(jié)露, 結(jié)露會(huì)影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露, 可以對(duì)管路和MFC適當(dāng)加溫, 但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過(guò)50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上, 需要特殊購(gòu)買高溫MFC產(chǎn)品。對(duì)于三氯化硼等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。