熱處理廠認為由于真空滲碳熱處理零件具有表面質(zhì)量高(不脫碳，不氧化)的特點，因而，對表面層的應力狀態(tài)及疲勞強度具有很有利的影響。

對具有盲孔、深孔及窄縫的零件具有較好的滲碳效果。對難于用氣體滲碳熱處理法進行滲碳的不銹鋼、含硅鋼等，用真空滲碳法則可順利地進行滲碳。

可獲得薄的、厚的(可達7mm)以及高碳濃度的滲碳層。使?jié)B碳期與擴散期時間具有不同的配合，即可獲得陡的或平緩的碳濃度梯度。

使用金屬在真空狀態(tài)下的變相特色，在與大氣壓只差0.1MPa范圍內(nèi)的真空下，固態(tài)相變熱力學、動力學不產(chǎn)生什么變化。真空熱處理加工是和可控氣氛齊頭并進的運用面很廣的無氧化熱處理技能，也是當前熱處理生產(chǎn)技能先進程度的首要標志之一。某些合金鋼及其焊接結(jié)構(gòu)，在淬火后當即進行高溫回火，這種接連的熱處理操作叫做調(diào)質(zhì)處理。通過調(diào)質(zhì)處理可使鋼堅持高的沖擊耐性的同時獲得高的強度。這是其它處理辦法達不到的。

1.提高零件的耐磨性，采用鋼件滲碳淬火法可獲得高碳馬氏體硬化表層；合金鋼件用滲氮方法可獲得合金氮化物的彌散硬化表層。用這兩種方法獲得的鋼件表面硬度分別可達HRC58～62及HV800～1200。另一途徑是在鋼件表面形成減磨、抗粘結(jié)薄膜以改善摩擦條件，同樣可提高耐磨性。例如，蒸汽處理表面產(chǎn)生四氧化三鐵薄膜有抗粘結(jié)的作用；表面硫化獲得硫化亞鐵薄膜，可兼有減磨與抗粘結(jié)的作用。近年來發(fā)展起來的多元共滲工藝，如氧氮滲，硫氮共滲，碳氮硫氧硼五元共滲等，能同時形成高硬度的擴散層與抗粘或減磨薄膜，有效地提高零件的耐磨性，特別是抗粘結(jié)磨損性。2.提高零件的疲勞強度，滲碳、滲氮、軟氮化和碳氮共滲等方法，都可使鋼零件在表面強化的同時，在零件表面形成殘余壓應力，有效地提高零件的疲勞強度。3.提高零件的抗蝕性與抗高溫氧化性，例如，滲氮可提高零件抗大氣腐蝕性能；鋼件滲鋁、滲鉻、滲硅后，與氧或腐蝕介質(zhì)作用形成致密、穩(wěn)定的Al2O3、Cr2O3、SiO2保護膜，提高抗蝕性及高溫性。通常，鋼件硬化的同時會帶來脆化。用表面硬化方法提高表面硬度時，仍能保持心部處于較好的韌性狀態(tài)，因此它比零件整體淬火硬化方法能更好地解決鋼件硬化與其韌性的矛盾?；瘜W熱處理使鋼件表層的化學成分與組織同時改變，因此它比高、中頻電感應、火焰淬火等表面淬火硬化方法效果更好。如果滲入元素選擇適當，可獲得適應零件多種性能要求的表面層。