光波超精密——直線空氣靜壓導軌

根據(jù)檢測方法的不同，可以對導軌直線度進行分類，對一般的導軌直線度，通常采用水平儀測距和橋板測距兩種方法，根據(jù)得到的一條近似于導軌實際線的誤差曲線，確定導軌直線度誤差。

但在測量高精度導軌直線度時，導軌本身的直線度等級會與檢測工具的直線度等級達到一個數(shù)量級，此時使用距法就不能將導軌與工具的直線度誤差分離，這時就需要一種不使用基準的高精度測量方法或技巧來有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測誤差分離法”。

光波超精密氣浮導軌廠家——直線空氣靜壓導軌

當前導軌直線度的常用檢測方法有：

有基準測量：將被測直線與選定的標準線相比較

無基準測量：在被測表面上取一定量的測點，用某種方法處理測量數(shù)據(jù)

用于三坐標測量機上的導向裝置有：滑動導向裝置、滾動導向裝置和氣浮導向裝置。滑軌精度高，承載能力強，但低速運行時摩擦阻力大，容易產(chǎn)生爬行，也不易在高速下運行，有逐漸被氣浮導軌取代的趨勢。現(xiàn)在大多數(shù)三坐標測量機都采用安氣靜壓導軌，也叫氣浮式導軌，其優(yōu)點是制作簡單，精度高，摩擦系數(shù)小，工作平穩(wěn)。

氣浮靜壓i軸承不同結(jié)構(gòu)尺寸的阻尼差異較大，在承載方向上阻尼較小，對外界引起的振動和空氣軸承自身固有的微振動衰減較慢，影響了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和測量精度，因此在設計出氣浮塊后，必須對其阻尼系數(shù)進行準確的檢測和評價。設計了一種測量計算氣浮阻尼的儀器。常規(guī)阻尼測量方法需要記錄氣浮振動，并對計算阻尼進行再分析，在記錄氣浮振動的過程中，由于依靠氣浮塊的振動來帶動記錄筆，因此記錄結(jié)果誤差較大，因而所測阻尼結(jié)果誤差也較大。由于傳統(tǒng)的阻尼測量過程繁瑣，測量結(jié)果誤差較大，提出采用先進的傳感器和分析儀進行阻尼測量，測量結(jié)果接近真值，方法簡便。其用途十分廣泛。

光波超精密空氣導軌——直線空氣靜壓導軌

測得靜壓式導軌氣浮塊阻尼特性的試驗檢測裝置，包括：沖擊式導軌1、加速度傳感器保護盒2、加速度傳感器3、氣浮塊4、模態(tài)分析儀5、工作臺6、氣源7、氣源減壓閥8、單向閥9、供氣壓力閥10、氣浮塊11；氣源7依次通過氣源減壓閥8、單向閥9與氣源減壓閥11連接；沖擊式導軌3、沖擊式導軌1與氣浮塊4連接；氣浮塊4放置在工作臺6上，氣浮塊3安裝在氣浮塊4的中心和四角位置，氣浮塊3安裝在加速度傳感器2的位置，沖擊式導軌1和沖擊式導軌1分別與加速度傳感器保護盒5連接；

大理石氣浮導軌對材料的要求

大理石氣浮導軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術,因此它具有軸/徑向跳動小、重復定位精度高、加載驅(qū)動力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:

1.導熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

光波超精密技術研究院——直線空氣靜壓導軌

4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強度,在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;

6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產(chǎn)生的測量機慣性力不會造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測量、超精密加工和半導體光刻等領域的重要應用,花崗石氣浮導軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.

直線導軌常簡稱為導軌，它的作用是支承并引導運動部件沿給定軌跡和行程作直線往復運動。導軌由兩個相對運動的部件組成，一個部件固定在機架上，稱為定軌，另一個在定軌上移動，稱為動軌。導軌多用于需要作直線往復運動的執(zhí)行器。導軌的運動性能在低速時要求平穩(wěn)、無爬行、定位準確，高速時要求慣量小、無超調(diào)或振蕩。導軌的精度、承載能力和壽命對系統(tǒng)的精度、承載能力和壽命有直接影響。導軌按軌面摩擦性質(zhì)可將導軌分為滑動導軌、滾動導軌、液體靜壓導軌、氣浮導軌、磁浮導軌?；瑒訉к壗Y(jié)構(gòu)簡單，剛性好，摩擦阻力大，連續(xù)運行磨損快，制造中軌面刮研工序的要求很高。

滑軌的靜摩阻力系數(shù)和動摩阻力系數(shù)相差很大，所以在低速運動時會出現(xiàn)爬行現(xiàn)象?；壋Ｓ糜诟鞣N機床的工作臺或床身導軌，多為工作臺、滑臺、滑板、導靴、車頭支架等。軌道橫斷面有矩形，燕尾， V形，圓形等。在重型機械中，多個截面形狀經(jīng)常聯(lián)合使用，共同起著導向和支撐的作用。滾動式導向是將滾動式物體放置在運動部件和支撐部件之間，例如滾珠、滾輪、滾針或滾動軸承。滾動式導軌的優(yōu)點是：不會給滑動式導軌帶來1/10的摩擦系數(shù)，靜、動摩擦系數(shù)差異較小，不易發(fā)生爬行現(xiàn)象，可用小功率電機拖曳，定位準確，使用壽命長。