多源有機無機蒸發(fā)?系統(tǒng)300D三源有機蒸發(fā)鍍膜機批發(fā)

多源有機無機蒸發(fā)系統(tǒng)

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主要用途：

用于納米級單層及多層金屬膜、 半導體膜等新材料的制備。廣泛應用 于大專院校的薄膜材料科研。

系統(tǒng)組成:

由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺、 真空測量、膜厚測試、電控系統(tǒng)組成。

技術指標：

極限真空度5.0×10-5Pa，系統(tǒng)漏率：1×10-7PaL/S； 恢復真空時間：40分鐘可達6.6×10 Pa

真空室：D形真空室，尺寸350× 380mm 

樣品臺：尺寸為4英寸厚度3mm的平面樣品；

電極：數(shù)量：4支水冷結(jié)構；直徑Φ20㎜

樣品基片:，基片在鍍膜位置實現(xiàn)自轉(zhuǎn)。基片的溫度從室溫至600℃

4套擋板系統(tǒng)：基片擋板與源擋板；靶擋板共有3套， 樣品擋板（１套）

石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999? 

可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)。

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多源蒸發(fā)系統(tǒng)介紹

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系統(tǒng)主要用來生長EL OEL分子有機電致發(fā)光器件薄膜的研究工作　　

該類設備為雙室?guī)痔紫浣Y(jié)構的有機、無機、多源有機、無機氣相分子沉積設備，采用直線式結(jié)構，由一個金屬材料生長、氧化物生長室、一個有機材料生長室和一個手套箱組成，金屬材料生長和氧化物生長室以及進樣室/氧化物生長室之間通過空氣鎖聯(lián)接，樣品通過帶遠程手控盒功能的電動磁力耦合裝置在兩個生長室之間手動傳遞?？蛇x手套箱。廣泛應用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等，特別適合太陽能電池、有機EL、LED顯示管研究與開發(fā)領域?！　?/span>