隨著真空技術(shù)在應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示“差”的意思。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

按電動機標(biāo)牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，

蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。

 正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。水環(huán)式真空泵初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、及食品等許多工業(yè)部門。隨著真空技術(shù)在應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，