一種新型的高靈敏度磁探測(cè)器

磁電阻/超導(dǎo)復(fù)合式磁傳感器作為一種新型的高靈敏度磁探測(cè)器， 其探測(cè)精度目前已接近SQUID器件并已達(dá)到fT 量級(jí)。同時(shí)這類傳感器又具有體積小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工藝成熟、便于大規(guī)模生產(chǎn)等優(yōu)勢(shì)，使其在未來(lái)發(fā)展?jié)摿薮蟆２捎蔑L(fēng)扇自動(dòng)控制技術(shù)與溫度傳感器集成電路,不僅可以節(jié)約成本,而且減少噪音污染,是高速芯片冷卻技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。就該復(fù)合式磁傳感器而言，進(jìn)一步提升器件的探測(cè)精度是其未來(lái)研究發(fā)展的主要方向。

一方面，繼續(xù)減小超導(dǎo)磁場(chǎng)放大器的狹窄區(qū)域?qū)挾戎? μm以下，同時(shí)增大磁場(chǎng)放大器的有效面積都可以將磁場(chǎng)放大倍數(shù)繼續(xù)提升至幾千甚至上萬(wàn)倍，但是同時(shí)會(huì)對(duì)傳感器的工作區(qū)間以及小型化造成影響。綜述了針對(duì)MEMS探卡不同的應(yīng)用前景所提出的多種技術(shù)方案,特別介紹了傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室為滿足IC圓片級(jí)測(cè)試的要求,針對(duì)管腳線排布型待測(cè)器件的新型過孔互連式懸臂梁芯片和針對(duì)管腳面排布型待測(cè)器件的Ni探針陣列結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和制造。另一方面，使用靈敏度更高的磁電阻傳感器件(TMR、巨磁阻抗器件(GMI)等[35])，將有望使得該復(fù)合式傳感器的磁場(chǎng)探測(cè)精度達(dá)到1fT，甚至0.1 fT 的量級(jí)。

TD傳感器是什么

人們?yōu)榱藦耐饨绔@取信息，必須借助于感覺。而單靠人們自身的感覺，在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動(dòng)中它們的功能就遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠了。

為適應(yīng)這種情況，就需要傳感器。因此可以說(shuō)，傳感器是人類五官的延長(zhǎng)，又稱之為電五官。 新技術(shù)革命的到來(lái)，世界開始進(jìn)入信息時(shí)代。用有源混頻器使本振需求僅為-10dBm,減小了系統(tǒng)對(duì)本振信號(hào)放大器的需求。在利用信息的過程中，首先要解決的就是要獲取準(zhǔn)確可靠的信息，而傳感器是獲取自然和生產(chǎn)領(lǐng)域中信息的主要途徑與手段。 在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動(dòng)化生產(chǎn)過程中，要用各種傳感器來(lái)監(jiān)視和控制生產(chǎn)過程中的各個(gè)參數(shù)，使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或狀態(tài)，并使產(chǎn)品達(dá)到的質(zhì)量。因此可以說(shuō)，沒有眾多的優(yōu)良的傳感器，現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去了基礎(chǔ)。 

在基礎(chǔ)學(xué)科研究中，傳感器更具有突出的地位。現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，進(jìn)入了許多新領(lǐng)域：例如在宏觀上要觀察上千光年的茫茫宇宙，微觀上要觀察小到fm的粒子世界，縱向上要觀察長(zhǎng)達(dá)數(shù)十萬(wàn)年的天體演化，短到 s的瞬間反應(yīng)。茂捷半導(dǎo)體工匠精神的支撐下面對(duì)數(shù)百萬(wàn)次的密集測(cè)試，在長(zhǎng)距離對(duì)射、漫反射場(chǎng)景中M8101所表現(xiàn)的精度能超越國(guó)際廠商1。此外，還出現(xiàn)了對(duì)深化物質(zhì)認(rèn)識(shí)、開拓新能源、新材料等具有重要作用的各種極端技術(shù)研究，如超高溫、超低溫、超高壓、超高真空、磁場(chǎng)、超弱磁場(chǎng)等等。顯然，要獲取大量人類感官無(wú)法直接獲取的信息，沒有相適應(yīng)的傳感器是不可能的。

CCD和CMOS的參數(shù)對(duì)比

1、壞點(diǎn)數(shù)

由于遭到制造工藝的限制，關(guān)于有幾百萬(wàn)像素點(diǎn)的傳感器而言，一切的像元都是好的情況幾乎不太可能，壞點(diǎn)數(shù)是指芯片中壞點(diǎn)（不能有效成像的像元或相應(yīng)不分歧性大于參數(shù)允許范圍的像元）的數(shù)量，壞點(diǎn)數(shù)是權(quán)衡芯片質(zhì)量的重要參數(shù)。

2、 光譜響應(yīng)

光譜響應(yīng)是指芯片關(guān)于不同光波長(zhǎng)光線的響應(yīng)才干，通常用光譜響應(yīng)曲線給出。

從產(chǎn)品的技術(shù)展開趨向看，無(wú)論是CCD還是CMOS，其體積小型化及高像素化仍是業(yè)界積極研發(fā)的目的。由于像素尺寸小則圖像產(chǎn)品的分辨率越高、明晰度越好、體積越小，其應(yīng)用面更普遍。