凈化車間工程施工的基本要求。1、施工企業(yè)承擔(dān)對(duì)凈化車間工程內(nèi)各專ye設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行深化的施工詳圖設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)執(zhí)行現(xiàn)行國(guó)家biao準(zhǔn)《潔凈車間設(shè)計(jì)規(guī)范》的相關(guān)規(guī)定。2、潔凈車間工程凈化車間工程中各專ye的隱蔽工程，隱蔽前必須經(jīng)建設(shè)單位或監(jiān)理人員的驗(yàn)收及認(rèn)可簽證。3、凈化車間工程竣工驗(yàn)收的系統(tǒng)調(diào)試，應(yīng)在建設(shè)單位和監(jiān)理單位的共同參與下進(jìn)行，由施工企業(yè)負(fù)責(zé)進(jìn)行系統(tǒng)調(diào)試、檢測(cè)，承擔(dān)調(diào)試的單位應(yīng)具有調(diào)試、檢測(cè)專職技術(shù)人員和符合本規(guī)范規(guī)定的測(cè)試儀器。

  離開(kāi)無(wú)塵車間應(yīng)該注意的事項(xiàng)：

1、脫下全套工作服和一次性保護(hù)裝置，并在返回時(shí)再穿上重新處理過(guò)的成套工作服。2、取下一次性保護(hù)裝置，但工作服重復(fù)利周，工作服要放置在專門(mén)的放置箱里，防止污染。3、如果在返回時(shí)需要全部更換工作服，則可將帽、手套、面罩和腳套作為廢物放入箱內(nèi)。4、如果其余工作服是非一次性的，則要將其放入另一衣箱，送去無(wú)塵車間zhuan用洗衣房處理。

凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請(qǐng)求來(lái)斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應(yīng)當(dāng)思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請(qǐng)求的進(jìn)步，技術(shù)對(duì)溫濕度的請(qǐng)求也越來(lái)越高，有必要到達(dá)必定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請(qǐng)求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導(dǎo)致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請(qǐng)求濕度值通常較低，因?yàn)槿顺龊菇窈螅瑢?duì)商品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超越25度。